公开(公告)号：CN113710409A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202080029126.5

申请日：2020-03-24

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 柳川良胜 ,  平野贵文 ,  下浦厚志

IPC: B23K26/57 ,  B23K26/066 ,  B23K26/08 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明具备：XY载台(1)，其载置加工对象物(9)而进行移动；激光照射装置(2)，其从光行进方向的上游向下游按顺序具备：激光头(16)；均匀光学系统(17)，其使激光的横截面内的能量分布均匀化；投影掩模(18)，其具有与加工对象物(9)的被激光照射部对应的形状的狭缝；以及缩小投影光学系统(19)，其使该投影掩模(18)的狭缝在被激光照射部成像；以及载台控制部(6)，其生成与XY载台(1)向X轴方向的移动同步的控制脉冲来控制激光头(16)的脉冲振荡。

公开(公告)号：CN113660847B

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202110504354.X

申请日：2021-05-10

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 下浦厚志 ,  铃木良和

IPC: H05K13/04

Abstract: 本发明提供一种零件安装装置以及零件安装方法，该零件安装装置将零件转印安装至基板，包含：输送部(4)，其进行送出带(1)而将零件(2)依序置于转印位置的铅垂上方、且卷绕带已送出的部分的处理；光学观察部(5)，其将来自光源的照明光照射至零件(2)及基板(3)，并使来自零件及基板的反射光分支为2个系统来同时观察转印对象零件及基板；转印部(8)，其具有从带的另一面压住转印对象零件的透光性的按压构件(6)，通过使该按压构件与基板相对移动将零件按压至转印位置而将零件转印安装至基板；以及控制部(9)，其对上述输送部、上述光学观察部以及上述转印部进行统括控制。由此，能将零件高精度地转印安装至基板。

公开(公告)号：CN114730075A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202080081247.4

申请日：2020-12-14

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 下浦厚志 ,  铃木良和

IPC: G02B26/10

Abstract: 本发明的目的在于提供能够在激光扫描的同时成像出精致的像的激光照射装置。本发明的激光照射装置使激光的强度分布均匀化并利用狭缝(12a)成形，利用第一光学构件(15)使通过狭缝(12a)后的激光成为平行光，利用第二光学构件(17)使激光成像于中间像面(20)，并且利用扫描反射镜(16a，16b)使激光在中间像面(20)上扫描。另外，缩小光学系统(14)将成像于中间像面(20)的狭缝像缩小而成像于加工对象物(100)的加工面。

公开(公告)号：CN113660847A

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202110504354.X

申请日：2021-05-10

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 下浦厚志 ,  铃木良和

IPC: H05K13/04

Abstract: 本发明提供一种零件安装装置以及零件安装方法，该零件安装装置将零件转印安装至基板，包含：输送部(4)，其进行送出带(1)而将零件(2)依序置于转印位置的铅垂上方、且卷绕带已送出的部分的处理；光学观察部(5)，其将来自光源的照明光照射至零件(2)及基板(3)，并使来自零件及基板的反射光分支为2个系统来同时观察转印对象零件及基板；转印部(8)，其具有从带的另一面压住转印对象零件的透光性的按压构件(6)，通过使该按压构件与基板相对移动将零件按压至转印位置而将零件转印安装至基板；以及控制部(9)，其对上述输送部、上述光学观察部以及上述转印部进行统括控制。由此，能将零件高精度地转印安装至基板。