公开(公告)号：CN111699565B

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN201980012120.4

申请日：2019-08-06

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 洪锡光 ,  金炯锡 ,  李宪荣 ,  郑光振 ,  申永焕

IPC: H10K71/00 ,  H10K71/40

Abstract: 根据本发明的一个示例性实施方案的升华纯化装置包括：真空室；定位在所述真空室中的管壳体；与所述管壳体紧密接触的舟皿；以及定位成分别与所述舟皿的外表面和所述管壳体的外表面相邻的加热单元，其中所述舟皿中容纳升华纯化目标材料，以及所述舟皿和所述管壳体中的至少一者由金属形成。

公开(公告)号：CN111699565A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN201980012120.4

申请日：2019-08-06

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 洪锡光 ,  金炯锡 ,  李宪荣 ,  郑光振 ,  申永焕

IPC: H01L51/56

Abstract: 根据本发明的一个示例性实施方案的升华纯化装置包括：真空室；定位在所述真空室中的管壳体；与所述管壳体紧密接触的舟皿；以及定位成分别与所述舟皿的外表面和所述管壳体的外表面相邻的加热单元，其中所述舟皿中容纳升华纯化目标材料，以及所述舟皿和所述管壳体中的至少一者由金属形成。