-
公开(公告)号：CN111868892B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201980019945.9
申请日：2019-06-18
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01L21/3065 , G02B5/18 , H01J37/32 , G03F1/80 , H05H1/46
Abstract: 本申请涉及使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法，其包括以下步骤：在具有设置在其上表面的网部的法拉第笼中设置用于蚀刻的基板材料；用遮板遮挡网部的至少一部分，然后对用于蚀刻的基板材料进行等离子体蚀刻；以及通过在使遮板沿着从法拉第箱的外部部分到其中心部分的方向移动的同时进行等离子体蚀刻来在用于蚀刻的基板材料上形成图案部分，其中图案部分的深度沿着从用于蚀刻的基板材料的一侧到其另一侧的方向逐渐变化。
-
公开(公告)号：CN111868892A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201980019945.9
申请日：2019-06-18
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01L21/3065 , G02B5/18 , H01J37/32 , G03F1/80 , H05H1/46
Abstract: 本申请涉及使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法，其包括以下步骤：在具有设置在其上表面的网部的法拉第笼中设置用于蚀刻的基板材料；用遮板遮挡网部的至少一部分，然后对用于蚀刻的基板材料进行等离子体蚀刻；以及通过在使遮板沿着从法拉第箱的外部部分到其中心部分的方向移动的同时进行等离子体蚀刻来在用于蚀刻的基板材料上形成图案部分，其中图案部分的深度沿着从用于蚀刻的基板材料的一侧到其另一侧的方向逐渐变化。
-
公开(公告)号：CN109716561B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN201780058174.5
申请日：2017-12-27
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本发明通过在锂金属的表面上形成预定图案，能够一次大量制造图案化锂金属箔，本发明使用其中将锂金属物理压制在预先浮雕或凹雕有预定图案的硅晶片上的方法，或其中将液态锂涂布到同样的硅晶片上并随后冷却的方法。另外，本发明能够有利地在大面积上以多种形状进行图案化，并最小化可能由压制压力的不同引起的不均匀图案。这样图案化的锂金属与常规锂金属相比具有优异的可逆性，因此能够大幅改善电池的寿命。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108139643B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680059467.0
申请日：2016-10-11
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G02F1/153 , G02F1/155 , G02F1/1524
Abstract: 本申请涉及电致变色元件及其制造方法。根据本申请的一个实施方案的用于制造电致变色元件的方法包括以下步骤：在第一基底上形成第一电极，然后在所述第一电极上形成第一电致变色部分；在第二基底上形成第二电极，然后在所述第二电极上形成第二电致变色部分；以及在所述第一电致变色部分与所述第二电致变色部分之间形成电解质层，其中形成第一电致变色部分的步骤通过使用载气的电子束蒸镀进行。
-
公开(公告)号：CN114678514B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210364455.6
申请日：2017-12-27
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01M4/38 , H01M4/04 , H01M4/134 , H01M10/052
Abstract: 本发明涉及图案化锂金属、包含其的二次电池用电极和二次电池。所述图案化锂金属使用包括如下步骤的方法制造：1)在硅晶片上形成具有0.001μm～900μm尺寸的均匀凹雕或浮雕图案，其中所述尺寸为长度和宽度；2)将锂金属物理压制到具有形成在其上的均匀图案的硅晶片上或将液态锂涂布到所述硅晶片上并冷却所述液态锂，以在所述锂金属的表面上形成均匀图案；以及3)将具有形成在其上的均匀图案的所述锂金属与所述硅晶片分离。本发明的图案化的锂金属与常规锂金属相比具有优异的可逆性，因此能够大幅改善电池的寿命。
-
公开(公告)号：CN109716561A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780058174.5
申请日：2017-12-27
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本发明通过在锂金属的表面上形成预定图案，能够一次大量制造图案化锂金属箔，本发明使用其中将锂金属物理压制在预先浮雕或凹雕有预定图案的硅晶片上的方法，或其中将液态锂涂布到同样的硅晶片上并随后冷却的方法。另外，本发明能够有利地在大面积上以多种形状进行图案化，并最小化可能由压制压力的不同引起的不均匀图案。这样图案化的锂金属与常规锂金属相比具有优异的可逆性，因此能够大幅改善电池的寿命。
-
公开(公告)号：CN114678514A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210364455.6
申请日：2017-12-27
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01M4/38 , H01M4/04 , H01M4/134 , H01M10/052
Abstract: 本发明涉及图案化锂金属、包含其的二次电池用电极和二次电池。所述图案化锂金属使用包括如下步骤的方法制造：1)在硅晶片上形成具有0.001μm～900μm尺寸的均匀凹雕或浮雕图案，其中所述尺寸为长度和宽度；2)将锂金属物理压制到具有形成在其上的均匀图案的硅晶片上或将液态锂涂布到所述硅晶片上并冷却所述液态锂，以在所述锂金属的表面上形成均匀图案；以及3)将具有形成在其上的均匀图案的所述锂金属与所述硅晶片分离。本发明的图案化的锂金属与常规锂金属相比具有优异的可逆性，因此能够大幅改善电池的寿命。
-
公开(公告)号：CN108139643A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680059467.0
申请日：2016-10-11
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及电致变色元件及其制造方法。根据本申请的一个实施方案的用于制造电致变色元件的方法包括以下步骤：在第一基底上形成第一电极，然后在所述第一电极上形成第一电致变色部分；在第二基底上形成第二电极，然后在所述第二电极上形成第二电致变色部分；以及在所述第一电致变色部分与所述第二电致变色部分之间形成电解质层，其中形成第一电致变色部分的步骤通过使用载气的电子束蒸镀进行。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.017 seconds)
