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公开(公告)号：CN107438470A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201680020924.5
申请日：2016-04-01
Applicant: 株式会社LG化学
Inventor： 李诗奈 , 李成圭 , 李相范 , 李成镐 , 金正锡 , 申俊浩 , 郑大哲 , 张龙熙 , 朴泰文 , 李炫稷
IPC: B01D3/02
Abstract: 通过使用本申请的蒸馏装置，与使用双蒸馏塔的情况相比，可以使包含在光致抗蚀剂的剥离工序中使用的废物剥离剂和被剥离的光致抗蚀剂树脂的溶液的纯化工序中产生的能量损失最小化，并且可以减小蒸馏装置的安装成本，从而提高了工序的经济可行性。
