公开(公告)号：CN101405841A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200780009343.2

申请日：2007-03-15

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 石原照正 ,  桥本孝治 ,  水野昌幸 ,  森田胜

IPC: H01L21/26

CPC classification number: H01L21/324 ,  H01L21/67103

Abstract: 一种基板退火装置用的遮热板，具有：被水平地支承的平板状的基板(1)，位于基板的上方、通过辐射热而加热基板上表面的加热器(5)，能够在遮蔽基板和加热器之间的遮蔽位置和从遮蔽位置离开的开放位置之间水平移动的遮热板(10)。遮热板(10)，包括：由在遮蔽位置的温度差下几乎不变形的低热膨胀材料(碳复合材料)构成的构造部件(12)，和覆盖构造部件的上表面、将该构造部件保持在其容许温度以下的隔热部件(14)。

公开(公告)号：CN101405841B

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN200780009343.2

申请日：2007-03-15

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 石原照正 ,  桥本孝治 ,  水野昌幸 ,  森田胜

IPC: H01L21/26

CPC classification number: H01L21/324 ,  H01L21/67103

Abstract: 一种基板退火装置用的遮热板，具有：被水平地支承的平板状的基板(1)，位于基板的上方、通过辐射热而加热基板上表面的加热器(5)，能够在遮蔽基板和加热器之间的遮蔽位置和从遮蔽位置离开的开放位置之间水平移动的遮热板(10)。遮热板(10)，包括：由在遮蔽位置的温度差下几乎不变形的低热膨胀材料(碳复合材料)构成的构造部件(12)，和覆盖构造部件的上表面、将该构造部件保持在其容许温度以下的隔热部件(14)。