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公开(公告)号：CN102484045B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201080038879.9
申请日：2010-08-25
Applicant: 株式会社IHI
Inventor： 桑原一
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H05G2/00
CPC classification number: H05G2/003 , G03F7/70033
Abstract: 一种等离子体光源系统，具备：多个等离子体光源（10），在规定的发光点（1a）对等离子体光（8）周期地进行发光；以及聚光装置（40），将等离子体光源的多个发光点的等离子体光聚光到单一的聚光点（9）。
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公开(公告)号：CN102197270A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200980141707.1
申请日：2009-10-23
Applicant: 株式会社IHI
IPC: F25C1/00
CPC classification number: A23L3/37 , A23B4/08 , C01B13/10 , C01B2201/64 , C01B2201/82 , F25C1/00 , F25C2400/12 , F25D2303/085 , Y02E60/366
Abstract: 本发明提供提高了臭氧冰的储存稳定性的臭氧冰的制造方法。一种方法，制作包含氧气(g2)作为气泡(b)的冰(11)，对所制作的冰(11)照射紫外线，将冰(11)中的氧气(g2)臭氧化从而制造臭氧冰(1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102484938B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201080038910.9
申请日：2010-08-31
Applicant: 株式会社IHI
Inventor： 桑原一
IPC: H05G2/00 , H01L21/027
CPC classification number: H05G2/003 , G03F7/70033 , H05G2/006
Abstract: 本发明的等离子体光源具备：相向配置的1对同轴状电极（10）、放电环境保持装置（20）以及电压施加装置（30）。各同轴状电极（10）包括：中心电极（12）；包围中心电极的相向的顶端部的引导电极（14）；以及使中心电极和引导电极之间绝缘的绝缘构件（16）。绝缘构件（16）是包括绝缘性致密部分（16a）和多孔质部分（16b）的局部多孔陶瓷。此外绝缘性致密部分（16a）具有在内部保有等离子体介质的贮存器（18），多孔质部分（16b）通过绝缘性致密部分（16a）的内部对贮存器（18）的内表面和中心电极（12）与引导电极（14）间进行连通。
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公开(公告)号：CN102484937A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080038899.6
申请日：2010-08-27
Applicant: 株式会社IHI , 国立大学法人东京工业大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 一种LPP方式EUV光源，具备：真空腔室（12），被保持成真空环境；气体射流装置（14），在该真空腔室内以能够回收的方式形成靶物质的高超音速稳态气体射流（1）；以及激光装置（16），将激光（3）聚光到高超音速稳态气体射流来进行照射，在激光的聚光点（2）激励靶物质而使等离子体产生，从那里使极紫外光发光。
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公开(公告)号：CN105276884A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510689759.X
申请日：2009-10-23
Applicant: 株式会社IHI
IPC: F25C1/00
CPC classification number: A23L3/37 , A23B4/08 , C01B13/10 , C01B2201/64 , C01B2201/82 , F25C1/00 , F25C2400/12 , F25D2303/085 , Y02E60/366
Abstract: 本发明提供提高了臭氧冰的储存稳定性的臭氧冰的制造方法和制造装置。一种方法，制作包含氧气(g2)作为气泡(b)的冰(11)，对所制作的冰(11)照射紫外线，将冰(11)中的氧气(g2)臭氧化从而制造臭氧冰(1)。
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公开(公告)号：CN102484938A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080038910.9
申请日：2010-08-31
Applicant: 株式会社IHI
Inventor： 桑原一
IPC: H05G2/00 , H01L21/027
CPC classification number: H05G2/003 , G03F7/70033 , H05G2/006
Abstract: 本发明的等离子体光源具备：相向配置的1对同轴状电极（10）、放电环境保持装置（20）以及电压施加装置（30）。各同轴状电极（10）包括：中心电极（12）；包围中心电极的相向的顶端部的引导电极（14）；以及使中心电极和引导电极之间绝缘的绝缘构件（16）。绝缘构件（16）是包括绝缘性致密部分（16a）和多孔质部分（16b）的局部多孔陶瓷。此外绝缘性致密部分（16a）具有在内部保有等离子体介质的贮存器（18），多孔质部分（16b）通过绝缘性致密部分（16a）的内部对贮存器（18）的内表面和中心电极（12）与引导电极（14）间进行连通。
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公开(公告)号：CN102484045A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080038879.9
申请日：2010-08-25
Applicant: 株式会社IHI
Inventor： 桑原一
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H05G2/00
CPC classification number: H05G2/003 , G03F7/70033
Abstract: 一种等离子体光源系统，具备：多个等离子体光源（10），在规定的发光点（1a）对等离子体光（8）周期地进行发光；以及聚光装置（40），将等离子体光源的多个发光点的等离子体光聚光到单一的聚光点（9）。
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