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发明公开
LPP方式的EUV光源及其产生方法无效

公开(公告)号：CN102484937A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080038899.6

申请日：2010-08-27

Applicant: 株式会社IHI , 国立大学法人东京工业大学

Inventor： 桑原一 , 堀冈一彦

IPC: H05G2/00

CPC classification number: H05G2/003 , H05G2/008

Abstract: 一种LPP方式EUV光源，具备：真空腔室（12），被保持成真空环境；气体射流装置（14），在该真空腔室内以能够回收的方式形成靶物质的高超音速稳态气体射流（1）；以及激光装置（16），将激光（3）聚光到高超音速稳态气体射流来进行照射，在激光的聚光点（2）激励靶物质而使等离子体产生，从那里使极紫外光发光。

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