利用感应加热的蒸镀装置以及蒸镀系统

    公开(公告)号:CN107043910B

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201610959727.1

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明涉及一种利用感应加热的蒸镀装置及蒸镀系统。本发明涉及的蒸镀装置(100)是利用感应加热的蒸镀装置(100),其特征在于,包括腔室(110)及感应加热部(140),通过感应加热部(140)对源基板(120)进行感应加热,并将形成在源基板(120)的至少一表面上的蒸镀物质层(125)蒸镀到与所述一表面相向配置的对象基板(130)上。

    有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置

    公开(公告)号:CN106148901A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201610318159.7

    申请日:2016-05-13

    Abstract: 本发明的有机膜蒸镀装置处理采用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。有机膜蒸镀装置利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机膜蒸镀装置包括蒸镀装置,涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置,其中,蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板,对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜,通过反复进行上述步骤,能够减少有机物损失,并能够缩短工序时间。

    用于熔融并供应金属材料的感应加热头

    公开(公告)号:CN105873710A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201480060801.5

    申请日:2014-08-13

    Abstract: 本发明涉及感应加热头,更详细而言,涉及一种用于熔融并供应金属材料的感应加热头。特别是涉及一种用于对供应的金属材料进行局部加热并以熔融的状态供应的感应加热头。本发明的感应加热头能够应用于钎焊、金属熔接、金属材料的3D打印等多样的技术领域。本发明的用于熔融并供应金属材料的感应加热头,包括用于电连接于高频电源的感应加热线圈和磁芯。所述磁芯为由磁性体构成的中空的筒形状,用于提供借助于所述感应加热线圈而感应的磁束的路径,且具备用于向中空的内部供应金属材料的入口部和用于排出供应的金属材料的出口部。本发明的感应加热头具备感应加热线圈和磁芯,能够使用于感应加热的磁束集束,按需要使金属材料准确熔融并供应。

    连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置、施体基板组

    公开(公告)号:CN106159115B

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201610319941.0

    申请日:2016-05-13

    Abstract: 本发明的有机发光元件的连续式制造系统采用焦耳加热方式并利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机发光元件的连续式制造系统可以包括蒸镀装置,涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置,蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板,对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜,通过反复进行上述处理,能够减少有机物的损失,并能够缩短工序时间。

    掩模清洗装置以及掩模清洗方法

    公开(公告)号:CN109690809A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201780056058.X

    申请日:2017-09-11

    Abstract: 本发明涉及一种掩模清洗装置以及掩模清洗方法,其能够清洗残留在有机发光装置用金属掩模表面上的有机物。所述掩模清洗装置可以包括:真空腔室,在内部形成有能够收纳掩模的收纳空间,并且在内部形成真空环境,从而易于去除残留在所述掩模上的有机物;第一清洗光照射装置,能够向收纳于所述真空腔室中的所述掩模照射清洗光,从而在所述真空环境下对所述有机物施加光能,以便能够从所述掩模分解并分离所述有机物以进行去除;以及控制部,能够向所述第一清洗光照射装置提供脉冲波电源。

    连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置、施体基板组

    公开(公告)号:CN106159115A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201610319941.0

    申请日:2016-05-13

    Abstract: 本发明的有机发光元件的连续式制造系统采用焦耳加热方式并利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机发光元件的连续式制造系统可以包括蒸镀装置,涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置,蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板,对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜,通过反复进行上述处理,能够减少有机物的损失,并能够缩短工序时间。

    有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置

    公开(公告)号:CN106148901B

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201610318159.7

    申请日:2016-05-13

    Abstract: 本发明的有机膜蒸镀装置处理采用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。有机膜蒸镀装置利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机膜蒸镀装置包括蒸镀装置,涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置,其中,蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板,对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜,通过反复进行上述步骤,能够减少有机物损失,并能够缩短工序时间。

    利用感应加热的蒸镀装置以及蒸镀系统

    公开(公告)号:CN107043910A

    公开(公告)日:2017-08-15

    申请号:CN201610959727.1

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明涉及一种利用感应加热的蒸镀装置及蒸镀系统。本发明涉及的蒸镀装置(100)是利用感应加热的蒸镀装置(100),其特征在于,包括腔室(110)及感应加热部(140),通过感应加热部(140)对源基板(120)进行感应加热,并将形成在源基板(120)的至少一表面上的蒸镀物质层(125)蒸镀到与所述一表面相向配置的对象基板(130)上。

    掩模清洗装置以及掩模清洗方法

    公开(公告)号:CN109690809B

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN201780056058.X

    申请日:2017-09-11

    Abstract: 本发明涉及一种掩模清洗装置以及掩模清洗方法,其能够清洗残留在有机发光装置用金属掩模表面上的有机物。所述掩模清洗装置可以包括:真空腔室,在内部形成有能够收纳掩模的收纳空间,并且在内部形成真空环境,从而易于去除残留在所述掩模上的有机物;第一清洗光照射装置,能够向收纳于所述真空腔室中的所述掩模照射清洗光,从而在所述真空环境下对所述有机物施加光能,以便能够从所述掩模分解并分离所述有机物以进行去除;以及控制部,能够向所述第一清洗光照射装置提供脉冲波电源。

    用于熔融并供应金属材料的感应加热头

    公开(公告)号:CN105873710B

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201480060801.5

    申请日:2014-08-13

    Abstract: 本发明涉及感应加热头,更详细而言,涉及一种用于熔融并供应金属材料的感应加热头。特别是涉及一种用于对供应的金属材料进行局部加热并以熔融的状态供应的感应加热头。本发明的感应加热头能够应用于钎焊、金属熔接、金属材料的3D打印等多样的技术领域。本发明的用于熔融并供应金属材料的感应加热头,包括用于电连接于高频电源的感应加热线圈和磁芯。所述磁芯为由磁性体构成的中空的筒形状,用于提供借助于所述感应加热线圈而感应的磁束的路径,且具备用于向中空的内部供应金属材料的入口部和用于排出供应的金属材料的出口部。本发明的感应加热头具备感应加热线圈和磁芯,能够使用于感应加热的磁束集束,按需要使金属材料准确熔融并供应。

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