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公开(公告)号:CN111132577B
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN201880061024.4
申请日:2018-09-20
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 汉阳大学ERICA产学协力团
Abstract: 本发明提供PVA刷子的清洗方法。上述PVA刷子的清洗方法可包括准备PVA刷子的阶段、用包含有机物的清洗溶液将上述PVA刷子内的硅氧烷(siloxane)化合物去除的阶段、及对上述PVA刷子施加振动以去除上述PVA刷子内的杂质的阶段。
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公开(公告)号:CN111132577A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201880061024.4
申请日:2018-09-20
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 汉阳大学ERICA产学协力团
Abstract: 本发明提供PVA刷子的清洗方法。上述PVA刷子的清洗方法可包括准备PVA刷子的阶段、用包含有机物的清洗溶液将上述PVA刷子内的硅氧烷(siloxane)化合物去除的阶段、及对上述PVA刷子施加振动以去除上述PVA刷子内的杂质的阶段。
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