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公开(公告)号：CN116397302A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202211654834.5
申请日：2022-12-22
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 岩本大树
Abstract: 本发明提供一种用于识别对镀覆装置的生产率进行限制的要素的方法以及计算机程序。课题在于识别对镀覆装置的生产率进行限制的要素。提供一种识别对镀覆装置的生产率进行限制的要素的方法。方法包括如下步骤：制作时序图，该时序图表示上述多个处理单元以及上述一个或多个输送装置的处理调度；基于上述时序图，针对上述多个处理单元以及上述一个或多个输送装置的各要素，计算运转率与取出自由度的至少一方，上述取出自由度表示能够从一个上述处理单元取出处理完毕的上述基板的时机的自由度；以及针对上述多个处理单元以及上述一个或多个输送装置的每个要素，显示上述计算出的运转率与取出自由度的至少一方。
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