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公开(公告)号：CN111868889B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN201980019193.6
申请日：2019-02-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/304 , B08B1/12 , B08B3/02 , B08B3/04
Abstract: 提供一种能够在短时间内进行高效的清洗工具的自我清洗的基板清洗装置。基板清洗装置具备：清洗工具，该清洗工具用于与基板的表面接触而对基板进行清洗；自我清洗部件，该自我清洗部件用于与清洗工具接触而对清洗工具进行自我清洗；清洗工具旋转机构，该清洗工具旋转机构用于使清洗工具旋转；清洗工具保持机构，该清洗工具保持机构对清洗工具进行保持，能够将清洗工具按压于基板，并且能够将清洗工具按压于自我清洗部件。另外，基板清洗装置具备控制部，该控制部以使得在对清洗工具进行自我清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的自我清洗时转矩成为规定转矩的方式控制清洗工具向自我清洗部件的按压力，该规定转矩是在清洗工具对基板进行清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的基板清洗时转矩以上的转矩。
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公开(公告)号：CN119361483A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411520161.3
申请日：2019-02-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种能够在短时间内进行高效的清洗工具的自我清洗的基板清洗装置。基板清洗装置具备：用于与基板的表面接触而对基板进行清洗的清洗工具；用于与清洗工具接触而对清洗工具进行自我清洗的自我清洗部件；用于使清洗工具旋转的清洗工具旋转机构；对清洗工具进行保持，能够将清洗工具按压于基板，并且能够将清洗工具按压于自我清洗部件的清洗工具保持机构。另外，基板清洗装置具备控制部，该控制部以使得在对清洗工具进行自我清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的自我清洗时转矩成为规定转矩的方式控制清洗工具向自我清洗部件的按压力，该规定转矩是在清洗工具对基板进行清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的基板清洗时转矩以上的转矩。
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公开(公告)号：CN119361484A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411520163.2
申请日：2019-02-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种能够在短时间内进行高效的清洗工具的自我清洗的基板清洗装置。基板清洗装置具备：用于与基板的表面接触而对基板进行清洗的清洗工具；用于与清洗工具接触而对清洗工具进行自我清洗的自我清洗部件；用于使清洗工具旋转的清洗工具旋转机构；对清洗工具进行保持，能够将清洗工具按压于基板，并且能够将清洗工具按压于自我清洗部件的清洗工具保持机构。另外，基板清洗装置具备控制部，该控制部以使得在对清洗工具进行自我清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的自我清洗时转矩成为规定转矩的方式控制清洗工具向自我清洗部件的按压力，该规定转矩是在清洗工具对基板进行清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的基板清洗时转矩以上的转矩。
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公开(公告)号：CN111868889A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201980019193.6
申请日：2019-02-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/304 , B08B1/00 , B08B3/02 , B08B3/04
Abstract: 提供一种能够在短时间内进行高效的清洗工具的自我清洗的基板清洗装置。基板清洗装置具备：清洗工具，该清洗工具用于与基板的表面接触而对基板进行清洗；自我清洗部件，该自我清洗部件用于与清洗工具接触而对清洗工具进行自我清洗；清洗工具旋转机构，该清洗工具旋转机构用于使清洗工具旋转；清洗工具保持机构，该清洗工具保持机构对清洗工具进行保持，能够将清洗工具按压于基板，并且能够将清洗工具按压于自我清洗部件。另外，基板清洗装置具备控制部，该控制部以使得在对清洗工具进行自我清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的自我清洗时转矩成为规定转矩的方式控制清洗工具向自我清洗部件的按压力，该规定转矩是在清洗工具对基板进行清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的基板清洗时转矩以上的转矩。
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