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公开(公告)号：CN103415576B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280012284.5
申请日：2012-01-12
Applicant: 株式会社艾迪科
IPC: C09D1/00 , C07C69/72 , C07C211/09 , C07C211/65 , C07F3/06 , H01B5/14 , H01B13/00
CPC classification number: C09D5/24 , C07C211/65 , C07F3/06 , C09D1/00 , C23C14/086 , C23C18/1216 , C23C18/42
Abstract: 本发明提供一种含有下述通式(1)(在通式(1)中，R1及R2彼此独立地表示碳原子数1～4的烷基)所示的锌化合物作为必需成分的氧化锌系膜形成用组合物、氧化锌系膜的制造方法及锌化合物。根据上述本发明，可提供一种氧化锌系膜形成用组合物，其可在300℃以下的低温下形成具有透明性、均质性及导电性的高品质的氧化锌系膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101143873B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200710152709.3
申请日：2007-09-14
Applicant: 株式会社艾迪科
CPC classification number: C23C16/405 , C07F7/003
Abstract: 本发明提供一种具有气化工序的薄膜制造方法，其中，对于供给薄膜以钛、锆、铪的前体，赋予其适合作为薄膜形成用原料、特别是CVD用原料的利用加热和/或氧化的分解特性、热稳定性、蒸气压等性质。本发明还提供一种用下述通式(1)表示的金属醇盐化合物。式中，R1～R8各自独立地表示氢原子或甲基，M表示钛、锆或铪原子。
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公开(公告)号：CN101143873A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710152709.3
申请日：2007-09-14
Applicant: 株式会社艾迪科
CPC classification number: C23C16/405 , C07F7/003
Abstract: 本发明提供一种具有气化工序的薄膜制造方法，其中，对于供给薄膜以钛、锆、铪的前体，赋予其适合作为薄膜形成用原料、特别是CVD用原料的利用加热和/或氧化的分解特性、热稳定性、蒸气压等性质。本发明还提供一种用通式(1)表示的金属醇盐化合物。式中，R1～R8各自独立地表示氢原子或甲基，M表示钛、锆或铪原子。
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公开(公告)号：CN104169463B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201380014674.0
申请日：2013-02-21
Applicant: 株式会社艾迪科
Inventor： 阿部彻司
IPC: C23C18/08
CPC classification number: H01B1/22 , B05D3/0254 , C23C18/08
Abstract: 本发明提供一种可在较低温度的加热下得到具有充分的导电性的铜膜的溶液状铜膜形成用组合物，所述铜膜形成用组合物包括：含有甲酸铜或其水合物0.01～3.0摩尔/kg、乙酸铜或其水合物0.01～3.0摩尔/kg、选自式(1)或(1')的二醇化合物组中1种以上的二醇化合物、式(2)的哌啶化合物及有机溶剂，且在将甲酸铜或其水合物的含量设为1摩尔/kg的情况下，在0.1～6.0摩尔/kg的范围内含有二醇化合物，在0.1～6.0摩尔/kg的范围内含有哌啶化合物。
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公开(公告)号：CN104169463A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201380014674.0
申请日：2013-02-21
Applicant: 株式会社艾迪科
Inventor： 阿部彻司
IPC: C23C18/08
CPC classification number: H01B1/22 , B05D3/0254 , C23C18/08
Abstract: 本发明提供一种可在较低温度的加热下得到具有充分的导电性的铜膜的溶液状铜膜形成用组合物，所述铜膜形成用组合物包括：含有甲酸铜或其水合物0.01～3.0摩尔/kg、乙酸铜或其水合物0.01～3.0摩尔/kg、选自式(1)或(1')的二醇化合物组中1种以上的二醇化合物、式(2)的哌啶化合物及有机溶剂，且在将甲酸铜或其水合物的含量设为1摩尔/kg的情况下，在0.1～6.0摩尔/kg的范围内含有二醇化合物，在0.1～6.0摩尔/kg的范围内含有哌啶化合物。
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公开(公告)号：CN103415576A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201280012284.5
申请日：2012-01-12
Applicant: 株式会社艾迪科
IPC: C09D1/00 , C07C69/72 , C07C211/09 , C07C211/65 , C07F3/06 , H01B5/14 , H01B13/00
CPC classification number: C09D5/24 , C07C211/65 , C07F3/06 , C09D1/00 , C23C14/086 , C23C18/1216 , C23C18/42
Abstract: 本发明提供一种含有下述通式(1)(在通式(1)中，R1及R2彼此独立地表示碳原子数1～4的烷基)所示的锌化合物作为必需成分的氧化锌系膜形成用组合物、氧化锌系膜的制造方法及锌化合物。根据上述本发明，可提供一种氧化锌系膜形成用组合物，其可在300℃以下的低温下形成具有透明性、均质性及导电性的高品质的氧化锌系膜。
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