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公开(公告)号:CN103229103A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201180056670.X
申请日:2011-11-28
Applicant: 株式会社艾迪科
IPC: G03F7/075 , C08F290/06 , C08G77/20 , G03F7/004
CPC classification number: C08G77/20 , C08F299/08 , G03F7/032 , G03F7/038 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供一种碱显影性的负型感光性树脂组合物以及使用了该感光性树脂组合物的永久抗蚀剂,所述负型感光性树脂组合物的透明性、耐化学试剂性、耐热性及碱显影性优异,而且作为永久抗蚀剂的耐热性及耐经时变化性优异,适合作为绝缘层。具体而言,提供一种感光性树脂组合物,其含有下述聚硅氧烷化合物以及光自由基产生剂,所述聚硅氧烷化合物是通过将特定的不饱和硅烷化合物、特定的硅烷化合物以及特定的环状硅氧烷化合物进行水解缩合反应而得到的。
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公开(公告)号:CN103229103B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201180056670.X
申请日:2011-11-28
Applicant: 株式会社艾迪科
IPC: G03F7/075 , C08F290/06 , C08G77/20 , G03F7/004
CPC classification number: C08G77/20 , C08F299/08 , G03F7/032 , G03F7/038 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供一种碱显影性的负型感光性树脂组合物以及使用了该感光性树脂组合物的永久抗蚀剂,所述负型感光性树脂组合物的透明性、耐化学试剂性、耐热性及碱显影性优异,而且作为永久抗蚀剂的耐热性及耐经时变化性优异,适合作为绝缘层。具体而言,提供一种感光性树脂组合物,其含有下述聚硅氧烷化合物以及光自由基产生剂,所述聚硅氧烷化合物是通过将特定的不饱和硅烷化合物、特定的硅烷化合物以及特定的环状硅氧烷化合物进行水解缩合反应而得到的。
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公开(公告)号:CN115151591B
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202180016000.9
申请日:2021-06-22
Applicant: 株式会社艾迪科
IPC: C08G59/66 , C07D453/02 , C08G65/26 , C08G75/04 , C08G75/045
Abstract: 一种组合物,其含有环状醚成分、硫醇成分和下述通式(1)所表示的化合物。优选的是:上述环状醚成分的含量在上述环状醚成分及上述硫醇成分的合计100质量份中为20质量份以上且80质量份以下。还优选的是:上述通式(1)所表示的化合物的含量在上述环状醚成分、上述硫醇成分及上述通式(1)所表示的化合物的合计100质量份中为3质量份以上且15质量份以下。(式中的符号的定义参照说明书。)
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公开(公告)号:CN115151591A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202180016000.9
申请日:2021-06-22
Applicant: 株式会社艾迪科
IPC: C08G59/66 , C07D453/02 , C08G65/26 , C08G75/04 , C08G75/045
Abstract: 一种组合物,其含有环状醚成分、硫醇成分和下述通式(1)所表示的化合物。优选的是:上述环状醚成分的含量在上述环状醚成分及上述硫醇成分的合计100质量份中为20质量份以上且80质量份以下。还优选的是:上述通式(1)所表示的化合物的含量在上述环状醚成分、上述硫醇成分及上述通式(1)所表示的化合物的合计100质量份中为3质量份以上且15质量份以下。(式中的符号的定义参照说明书。)
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