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公开(公告)号:CN101740876B
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN200810177554.3
申请日:2008-11-21
申请人: 株式会社细美事
IPC分类号: H01Q21/00 , H01Q1/26 , H05H1/46 , H01L21/3065
摘要: 本发明的课题是提供一种等离子天线以及使用该天线的等离子处理装置。解决方案是本发明的实施方式的等离子天线用于等离子发生装置的等离子天线中,前述等离子天线具有下述形状:其接受电源供给部提供的电源,并在分支部向电介质的外周分支,前述分支的天线向中央集中,并在接地部接地。
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公开(公告)号:CN101740876A
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200810177554.3
申请日:2008-11-21
申请人: 株式会社细美事
IPC分类号: H01Q21/00 , H01Q1/26 , H05H1/46 , H01L21/3065
摘要: 本发明的课题是提供一种等离子天线以及使用该天线的等离子处理装置。解决方案是本发明的实施方式的等离子天线用于等离子发生装置的等离子天线中,前述等离子天线具有下述形状:其接受电源供给部提供的电源,并在分支部向电介质的外周分支,前述分支的天线向中央集中,并在接地部接地。
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