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公开(公告)号：CN117940737A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202280061711.2
申请日：2022-08-10
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明的形状测量装置用光学系统包括平行光照射系统和摄像光学系统，其中，所述平行光照射系统包括点光源、准直透镜、以及隔着被测量物体被来自所述准直透镜的光照射的双侧远心构造或物方远心构造的远心镜头，所述摄像光学系统包括图像传感器，由通过所述远心镜头的光产生的所述被测量物体的一部分的影像被投射到该图像传感器，所述点光源包括LED、使来自所述LED的光扩散并射出的扩散部件、以及形成有供来自所述扩散部件的光入射的针孔的针孔部件。
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公开(公告)号：CN112018168B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202010458017.7
申请日：2020-05-26
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01L29/24 , H01L29/786 , C23C14/34 , C23C14/08
Abstract: 本发明的目的在于提供一种制造成本相对低、形成了薄膜晶体管时的载流子迁移率及光应力耐性高的氧化物半导体薄膜、薄膜晶体管及溅镀靶材。本发明为一种氧化物半导体薄膜，其包含金属元素，其中所述金属元素包含In、Zn、Fe及不可避免的杂质，相对于In、Zn及Fe的合计原子数，In的原子数为58atm％以上且80atm％以下，Zn的原子数为19atm％以上且41atm％以下，Fe的原子数为0.6atm％以上且3atm％以下。
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公开(公告)号：CN112018168A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202010458017.7
申请日：2020-05-26
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01L29/24 , H01L29/786 , C23C14/34 , C23C14/08
Abstract: 本发明的目的在于提供一种制造成本相对低、形成了薄膜晶体管时的载流子迁移率及光应力耐性高的氧化物半导体薄膜、薄膜晶体管及溅镀靶材。本发明为一种氧化物半导体薄膜，其包含金属元素，其中所述金属元素包含In、Zn、Fe及不可避免的杂质，相对于In、Zn及Fe的合计原子数，In的原子数为58atm％以上且80atm％以下，Zn的原子数为19atm％以上且41atm％以下，Fe的原子数为0.6atm％以上且3atm％以下。
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公开(公告)号：CN112823400B
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN201980066273.7
申请日：2019-10-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明的前驱体是具备复合线材群和阻挡层和保护层的复合管的拉丝加工品，上述复合线材群具备：多个锡线材，其具有一个或多个锡芯材和包围该锡芯材的铜基；多个铌线材，其具有多个铌芯材和包围这些铌芯材的铜基，并以包围上述锡线材的方式配设，并且上述复合线材群含有钛，其含量为0.38质量％以上且0.55质量％以下，在横剖视下，来自上述多个锡线材的锡线状体的截面区域的重心以大致平面点陈状定位，形成该平面点阵的单位点阵的重心与处于该单位点阵的阵点的上述锡线状体的截面区域的重心之间的平均距离为30μm以上且50μm以下。
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公开(公告)号：CN112823400A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201980066273.7
申请日：2019-10-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明的前驱体是具备复合线材群和阻挡层和保护层的复合管的拉丝加工品，上述复合线材群具备：多个锡线材，其具有一个或多个锡芯材和包围该锡芯材的铜基；多个铌线材，其具有多个铌芯材和包围这些铌芯材的铜基，并以包围上述锡线材的方式配设，并且上述复合线材群含有钛，其含量为0.38质量％以上且0.55质量％以下，在横剖视下，来自上述多个锡线材的锡线状体的截面区域的重心以大致平面点陈状定位，形成该平面点阵的单位点阵的重心与处于该单位点阵的阵点的上述锡线状体的截面区域的重心之间的平均距离为30μm以上且50μm以下。
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