公开(公告)号：CN101466867B

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：CN200780022068.8

申请日：2007-04-09

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 高木牧子 ,  伊藤博巳 ,  斋藤一也 ,  藤本秀树

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/54 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4488 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/45591

Abstract: 本发明提供一种催化体化学气相沉积装置，其对由处理室内部构成部件及处理室内壁等释放的H2O等释放气体和由附着沉积物所产生的粒子采取应对措施，可以进行希望膜质的成膜。其特征在于，具备：在处理室1内配置的基板4、与基板4对置的喷淋板7、使来自喷淋板7的原料气体活化的金属钨丝等构成的催化体5，并具有以下构成：将催化体5设置于基板4和喷淋板7之间，并且用筒状周壁23围绕处理室1内的基板4和喷淋板7对置而形成的空间，除此之外，还设置有真空排气装置，以使筒状周壁23的内侧即成膜区域26内的压力比其他区域的压力高。

公开(公告)号：CN101466867A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780022068.8

申请日：2007-04-09

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 高木牧子 ,  伊藤博巳 ,  斋藤一也 ,  藤本秀树

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/54 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4488 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/45591

Abstract: 本发明提供一种催化体化学气相沉积装置，其对由处理室内部构成部件及处理室内壁等释放的H2O等释放气体和由附着沉积物所产生的粒子采取应对措施，可以进行希望膜质的成膜。其特征在于，具备：在处理室1内配置的基板4、与基板4对置的喷淋板7、使来自喷淋板7的原料气体活化的金属钨丝等构成的催化体5，并具有以下构成：将催化体5设置于基板4和喷淋板7之间，并且用筒状周壁23围绕处理室1内的基板4和喷淋板7对置而形成的空间，除此之外，还设置有真空排气装置，以使筒状周壁23的内侧即成膜区域26内的压力比其他区域的压力高。