公开(公告)号：CN101484830B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200780024816.6

申请日：2007-06-07

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 饭岛正行 ,  小林洋介 ,  平山浩二 ,  桥本雄介 ,  浜田龙二 ,  桃野健 ,  中塚笃

IPC: G02B5/10 ,  C23C14/56 ,  F21S8/10 ,  F21V7/00 ,  F21V17/00

CPC classification number: C23C28/00 ,  G02B5/0808

Abstract: 本发明提供实现简化工序和缩短作业时间的反射镜的制造装置及其制造方法。构成成膜装置(1)，把反射膜成膜用的金属蒸发源(22)、着色膜成膜用的色素蒸发源(23)、保护膜成膜用的等离子聚合源(电极)(24)配置在一个真空处理室(5)内。另外，通过在共同的真空处理室(5)内进行反射膜的形成工序、着色膜的形成工序和保护膜的形成工序，在实现简化工序的同时缩短作业时间。

公开(公告)号：CN101484830A

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200780024816.6

申请日：2007-06-07

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 饭岛正行 ,  小林洋介 ,  平山浩二 ,  桥本雄介 ,  浜田龙二 ,  桃野健 ,  中塚笃

IPC: G02B5/10 ,  C23C14/56 ,  F21S8/10 ,  F21V7/00 ,  F21V17/00

CPC classification number: C23C28/00 ,  G02B5/0808

Abstract: 本发明提供实现简化工序和缩短作业时间的反射镜的制造装置及其制造方法。构成成膜装置(1)，把反射膜成膜用的金属蒸发源(22)、着色膜成膜用的色素蒸发源(23)、保护膜成膜用的等离子聚合源(电极)(24)配置在一个真空处理室(5)内。另外，通过在共同的真空处理室(5)内进行反射膜的形成工序、着色膜的形成工序和保护膜的形成工序，在实现简化工序的同时缩短作业时间。