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公开(公告)号：CN107001837A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063227.3
申请日：2015-11-24
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
IPC: C09D11/50
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理检测油墨组合物，其用于形成通过等离子体处理而变色的变色层，且可将因等离子体处理所导致的变色层气体化或形成微细碎屑而飞散的问题，抑制到不影响电子设备特性的程度，并且，具有良好耐热性。具体而言，本发明提供一种等离子体处理检测油墨组合物，其用于形成通过等离子体处理而变色的变色层，其特征在于，该油墨组合物含有金属氧化物颗粒及粘合剂树脂，所述金属氧化物颗粒含有选自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi组成的组中的至少一种元素。
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公开(公告)号：CN105283516B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201480033301.2
申请日：2014-08-04
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
IPC: C09D11/037 , C09D11/50 , H01J37/32
CPC classification number: H01L21/67253 , C09D11/037 , C09D11/50 , G01N21/78 , G01N21/783 , H01J37/32935
Abstract: 本发明的目的在于提供一种指示器、以及使用上述指示器的装置的设计及/或管理方法，所述指示器在电子器件制造装置内，能够简便地检测是否均匀地对基板整体进行了选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种的处理。一种指示器，其是在电子器件制造装置中使用的指示器，其特征在于，(1)所述指示器用于检测选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种，(2)所述指示器的形状与在所述电子器件制造装置中使用的基板的形状相同，(3)所述指示器包括变色层，(4)所述变色层由墨液组合物形成，所述墨液组合物通过与选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种发生反应而变色或脱色。
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公开(公告)号：CN105283516A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201480033301.2
申请日：2014-08-04
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
IPC: C09D11/037 , C09D11/50 , H01J37/32
CPC classification number: H01L21/67253 , C09D11/037 , C09D11/50 , G01N21/78 , G01N21/783 , H01J37/32935
Abstract: 本发明的目的在于提供一种指示器、以及使用上述指示器的装置的设计及/或管理方法，所述指示器在电子器件制造装置内，能够简便地检测是否均匀地对基板整体进行了选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种的处理。一种指示器，其是在电子器件制造装置中使用的指示器，其特征在于，(1)所述指示器用于检测选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种，(2)所述指示器的形状与在所述电子器件制造装置中使用的基板的形状相同，(3)所述指示器包括变色层，(4)所述变色层由墨液组合物形成，所述墨液组合物通过与选自包括等离子体、臭氧、紫外线、及含自由基气体的组的至少一种发生反应而变色或脱色。
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公开(公告)号：CN106233434B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201580020478.3
申请日：2015-04-22
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
IPC: H01L21/3065 , C04B35/00 , C23C16/50 , H01L21/31 , H05H1/00
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的指示器，其中，通过等离子体处理而变色层气体化或成为微细的屑而飞散的情况被抑制到对电子器件特性不带来影响的程度，且耐热性良好。本发明具体提供一种等离子体处理检测指示器，其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的等离子体处理检测指示器，其中，所述变色层含有选自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi构成的组中的至少一种金属元素的单体和/或包含该金属元素的无机化合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106233434A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201580020478.3
申请日：2015-04-22
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
IPC: H01L21/3065 , C04B35/00 , C23C16/50 , H01L21/31 , H05H1/00
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的指示器，其中，通过等离子体处理而变色层气体化或成为微细的屑而飞散的情况被抑制到对电子器件特性不带来影响的程度，且耐热性良好。本发明具体提供一种等离子体处理检测指示器，其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的等离子体处理检测指示器，其中，所述变色层含有选自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi构成的组中的至少一种金属元素的单体和/或包含该金属元素的无机化合物。
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公开(公告)号：CN107078053B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201580063223.5
申请日：2015-11-24
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其具有通过等离子体处理而变色的变色层，且可将因等离子体处理所导致的变色层气体化或形成微细碎屑而飞散的问题，抑制到不影响电子设备特性的程度，并且，具有良好的耐热性。具体而言，本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其具有通过等离子体处理而变色的变色层，其特征在于，所述变色层含有金属氧化物微粒，所述金属氧化物微粒含有选自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi组成的组中的至少一种元素，且平均粒径为50μm以下。
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公开(公告)号：CN107001837B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201580063227.3
申请日：2015-11-24
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
IPC: C09D11/50
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理检测油墨组合物，其用于形成通过等离子体处理而变色的变色层，且可将因等离子体处理所导致的变色层气体化或形成微细碎屑而飞散的问题，抑制到不影响电子设备特性的程度，并且，具有良好耐热性。具体而言，本发明提供一种等离子体处理检测油墨组合物，其用于形成通过等离子体处理而变色的变色层，其特征在于，该油墨组合物含有金属氧化物颗粒及粘合剂树脂，所述金属氧化物颗粒含有选自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi组成的组中的至少一种元素。
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公开(公告)号：CN107078053A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580063223.5
申请日：2015-11-24
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其具有通过等离子体处理而变色的变色层，且可将因等离子体处理所导致的变色层气体化或形成微细碎屑而飞散的问题，抑制到不影响电子设备特性的程度，并且，具有良好的耐热性。具体而言，本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其具有通过等离子体处理而变色的变色层，其特征在于，所述变色层含有金属氧化物微粒，所述金属氧化物微粒含有选自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi组成的组中的至少一种元素，且平均粒径为50μm以下。
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公开(公告)号：CN303530330S
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201530173118.X
申请日：2015-06-01
Applicant: 株式会社樱花彩色笔
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：等离子指示器。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作等离子指示器，其通过变色层颜色的改变来测试环境等离子。等离子指示器被粘贴在待检测处如等离子处理装置的腔内或待处理的晶片上。如各设计的使用状态参考图1和2所示，等离子的背面层被揭开，然后粘贴在待检测处。最后等离子指示器的正面层被移除。3．本外观设计产品的设计要点：各图片所示的产品整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图1。5．请求保护的外观设计包含色彩。6．指定基本设计：本外观设计产品包括四项相似外观设计，设计1为基本设计。7．设计1A部（正面层）、B部（基础层）、C部（背面层）和D部（背面层）除基础层上的变色层外为透明。设计2A部（正面层）、B部（基础层）和C部（背面层）除基础层上的变色层外为透明。设计3A部（正面层）、B部（基础层）和C部（背面层）除基础层上的变色层外为透明。设计4A部（正面层）、B部（基础层）和C部（背面层）除基础层上的变色层外为透明。
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