公开(公告)号：CN102132384B

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN200980132822.2

申请日：2009-09-18

Applicant: 株式会社杰士汤浅国际

Inventor： 广井和则 ,  畑濑和也

IPC: H01L21/304 ,  B01J19/12

CPC classification number: C03C23/002 ,  B08B7/0035

Abstract: 本发明提供一种紫外线照射装置。以使尽可能地降低紫外线照射装置的管理负担，并且能够有效地向处理对象物照射紫外线。紫外线照射装置设置有：放电灯，其向处理对象物照射紫外线；以及气体提供单元，其向该放电灯和上述处理对象物之间的空间提供气体，上述气体提供单元构成为，包括：配置在上述放电灯的侧方的上述气体的喷出口；以及在上述处理对象物的存在侧的相反侧覆盖上述放电灯的周围空间的遮蔽体。

公开(公告)号：CN102847691A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201210216149.4

申请日：2012-06-27

Applicant: 株式会社杰士汤浅国际

Inventor： 片桐毅 ,  广井和则

IPC: B08B7/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种紫外线照射装置，其通过提高收容紫外线灯的壳体内的气体的置换效率，从而缩短气体的置换时间且降低该置换的气体使用量。所述紫外线照射装置具备：对工件(W)照射紫外线的紫外线灯(2)；收容紫外线灯(2)且具有与工件(W)对置开口的开口部(31)的壳体(3)；向壳体(3)内供给气体的气体供给机构(4)，在壳体(3)的内表面或内部空间设有循环引导面(3x)，该循环引导面(3x)用于使由气体供给机构(4)供给的气体在紫外线灯(2)的周围单向循环。

公开(公告)号：CN103162820A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201210528387.9

申请日：2012-12-10

Applicant: 株式会社杰士汤浅国际

Inventor： 野村元哉 ,  长谷川丰 ,  细谷浩二 ,  广井和则 ,  水谷实

IPC: G01J1/18

Abstract: 本发明提供一种能够用更少个数的检测器检测灯的不点亮的不点亮检测装置以及不点亮检测方法。本发明的不点亮检测装置，具有：针对由并联连接的多盏灯(22)组成的灯群而设置的1个光量传感器(24)；根据上述光量传感器(24)的输出求出规定时间τA的传感器累计值I的累计部(36)；存储上述传感器累计值I的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部(38)，上述判断部(38)根据上述传感器累计值I与基准值的比较、以及上述传感器累计值I与上述存储部(37)中存储的过去的传感器累计值I的比较，判断灯的不点亮。

公开(公告)号：CN102132384A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200980132822.2

申请日：2009-09-18

Applicant: 株式会社杰士汤浅国际

Inventor： 广井和则 ,  畑濑和也

IPC: H01L21/304 ,  B01J19/12

CPC classification number: C03C23/002 ,  B08B7/0035

Abstract: 本发明提供一种紫外线照射装置。以使尽可能地降低紫外线照射装置的管理负担，并且能够有效地向处理对象物照射紫外线。紫外线照射装置设置有：放电灯，其向处理对象物照射紫外线；以及气体提供单元，其向该放电灯和上述处理对象物之间的空间提供气体，上述气体提供单元构成为，包括：配置在上述放电灯的侧方的上述气体的喷出口；以及在上述处理对象物的存在侧的相反侧覆盖上述放电灯的周围空间的遮蔽体。