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公开(公告)号：CN116481312A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202211653591.3
申请日：2022-12-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种加热炉，解决气体管路的路径长度长、加热炉的整体尺寸大的问题。加热炉(100)具备：主体部(10)，具有用于进行被处理物的热处理的热处理空间(11)；气体供给部(20)，将为了进行热处理所需的气体供给到主体部的热处理空间；吸引喷出部(30)，具有与主体部连接的气体管路(31)，反复进行从热处理空间向气体管路的气体的吸引和被吸引的气体向热处理空间的喷出；和蓄热体(40)，配置在气体管路的内部，能够进行热交换。气体管路配置为，在经由气体管路的气体的吸引以及喷出时，沿着从气体管路向热处理空间喷出的气体的行进方向的单位向量和沿着从热处理空间向气体管路吸引的气体的行进方向的单位向量的内积成为0以下。
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