声学器件及具备该声学器件的模块

    公开(公告)号:CN118120257A

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202280070074.5

    申请日:2022-08-30

    Abstract: 声学器件(101)具备:基板,其具有第一面和朝向所述第一面的相反侧的第二面(2b),并具有开口部(2e);声学MEMS元件,其以覆盖开口部(2e)的方式固定于所述第一面;环状电极(16),其在第二面(2b)以包围开口部(2e)的方式配置;以及阻焊剂层(17),其在比环状电极(16)靠外侧处及靠内侧处,与环状电极(16)相邻地、以覆盖第二面(2b)的方式配置,以连结作为环状电极(16)的边缘的任一处所的第一部位(31)和作为所述基板的边缘的任一处所的第二部位(32)的方式,在阻焊剂层(17)设置有第一缺口部(21)。

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