掩模夹具、电镀装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110603348A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201780090300.5

    申请日:2017-08-23

    Abstract: 掩模夹具(100)具备:接触部件(130),该接触部件(130)形成有使棒状的活塞杆(10)通过的贯通孔(133),并且在贯通孔(133)的周围具有,该变形部(134)通过活塞杆(10)的外螺纹(10e)插入到贯通孔(133)中而发生弹性变形并与活塞杆(10)的外周端面接触;以及支撑单元(170),其沿着与活塞杆(10)的轴心方向交叉的方向可移动地支撑接触部件(130)。

    掩模夹具、电镀装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110603348B

    公开(公告)日:2021-07-20

    申请号:CN201780090300.5

    申请日:2017-08-23

    Abstract: 掩模夹具(100)具备:接触部件(130),该接触部件(130)形成有使棒状的活塞杆(10)通过的贯通孔(133),并且在贯通孔(133)的周围具有,该变形部(134)通过活塞杆(10)的外螺纹(10e)插入到贯通孔(133)中而发生弹性变形并与活塞杆(10)的外周端面接触;以及支撑单元(170),其沿着与活塞杆(10)的轴心方向交叉的方向可移动地支撑接触部件(130)。

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