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发明公开
闪烁器、测量装置、质量分析装置以及电子显微镜审中-实审

公开(公告)号：CN114787959A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202080085111.0

申请日：2020-11-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 今村伸 , 楠敏明 , 高桥惠理 , 关口好文 , 神田隆之

IPC: H01J49/02 , C09K11/00 , C09K11/62 , H01J37/244

Abstract: 提供使发光强度提升的闪烁器等。闪烁器(S)具备：蓝宝石基板(6)；GaN层(4)，其相对于蓝宝石基板(6)设于入射侧，包含GaN；量子阱构造(3)，其相对于GaN层(4)设于入射侧；导电层(2)，其相对于量子阱构造(3)设于入射侧，在量子阱构造(3)中，将包含InGaN的多个发光层(21)和包含GaN的多个阻挡层(22)交替层叠，在量子阱构造(3)与导电层(2)之间设有包含氧的含氧层(23)。

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