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公开(公告)号：CN109314029B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201680086707.6
申请日：2016-06-17
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备角度与镜体不同的光学摄像装置，其中，在使样本与光学摄像装置相对时，样本有可能与其他部件碰撞。本带电粒子束装置具备：载物台，其承载样本，使样本在样本室内部移动；镜体，其向样本照射带电粒子束而观察样本；第一摄像装置，其从与该镜体不同的角度，观察样本的被照射带电粒子束的面；控制部，其在通过第一摄像装置观察样本时，在使样本从镜体离开后，通过载物台使样本倾斜使得样本与第一摄像装置相对。
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公开(公告)号：CN109155224B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201780030731.2
申请日：2017-06-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供即使在作用了环境音等干扰的情况下也减少支撑体的振动、保持支撑体的平行度、抑制支撑体的重量的增大并且支撑体具有支撑试料室的刚性的带电粒子束装置。支撑体(4)具有：支撑搭载物并支撑于除振支架的第一部件(5)；厚度与第一部件(5)的厚度不同并配置为与第一部件(5)重叠的第二部件(6)；固定第一部件(5)和第二部件(6)的固定部件(7)；以及刚性比固定部件(7)的刚性小并基于第一部件(5)与第二部件(6)的变位差而变形的衰减部件(8)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103597571A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280027699.X
申请日：2012-05-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J2237/0216 , H01J2237/26
Abstract: 本发明提供一种带电粒子装置，其具有筒形的镜筒(10)、设于该镜筒内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台(103)、以及支承所述镜筒的支承装置(211、212)。所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简支的简支构造，所述镜筒的支承点被设定在如下位置：将所述镜筒视为两端为自由端的梁时的、与梁的振动的波节的位置对应的位置。由此，能够不增加镜筒自身的重量，使镜筒高刚性化，使作用于镜筒的振动降低。
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公开(公告)号：CN109155224A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780030731.2
申请日：2017-06-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供即使在作用了环境音等干扰的情况下也减少支撑体的振动、保持支撑体的平行度、抑制支撑体的重量的增大并且支撑体具有支撑试料室的刚性的带电粒子束装置。支撑体(4)具有：支撑搭载物并支撑于除振支架的第一部件(5)；厚度与第一部件(5)的厚度不同并配置为与第一部件(5)重叠的第二部件(6)；固定第一部件(5)和第二部件(6)的固定部件(7)；以及刚性比固定部件(7)的刚性小并基于第一部件(5)与第二部件(6)的变位差而变形的衰减部件(8)。
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公开(公告)号：CN110494948A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201880024056.7
申请日：2018-05-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下赋予衰减的技术。本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带电粒子束装置中，试样台和衰减部水平配置。另外，试样台形成被夹在衰减部与箱体的第一侧面之间而被支撑的结构，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体(图2)。
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公开(公告)号：CN109314029A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201680086707.6
申请日：2016-06-17
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备角度与镜体不同的光学摄像装置，其中，在使样本与光学摄像装置相对时，样本有可能与其他部件碰撞。本带电粒子束装置具备：载物台，其承载样本，使样本在样本室内部移动；镜体，其向样本照射带电粒子束而观察样本；第一摄像装置，其从与该镜体不同的角度，观察样本的被照射带电粒子束的面；控制部，其在通过第一摄像装置观察样本时，在使样本从镜体离开后，通过载物台使样本倾斜使得样本与第一摄像装置相对。
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公开(公告)号：CN103597571B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201280027699.X
申请日：2012-05-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J2237/0216 , H01J2237/26
Abstract: 本发明提供一种带电粒子装置，其具有筒形的镜筒(10)、设于该镜筒内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台(103)、以及支承所述镜筒的支承装置(211、212)。所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简支的简支构造，所述镜筒的支承点被设定在如下位置：将所述镜筒视为两端为自由端的梁时的、与梁的振动的波节的位置对应的位置。由此，能够不增加镜筒自身的重量，使镜筒高刚性化，使作用于镜筒的振动降低。
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