公开(公告)号：CN109314029B

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201680086707.6

申请日：2016-06-17

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小柳宗和 ,  铃木渡 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备角度与镜体不同的光学摄像装置，其中，在使样本与光学摄像装置相对时，样本有可能与其他部件碰撞。本带电粒子束装置具备：载物台，其承载样本，使样本在样本室内部移动；镜体，其向样本照射带电粒子束而观察样本；第一摄像装置，其从与该镜体不同的角度，观察样本的被照射带电粒子束的面；控制部，其在通过第一摄像装置观察样本时，在使样本从镜体离开后，通过载物台使样本倾斜使得样本与第一摄像装置相对。

公开(公告)号：CN110494948A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201880024056.7

申请日：2018-05-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 榎本裕久 ,  铃木渡 ,  小柳宗和 ,  羽根田茂 ,  菊池秀树

IPC: H01J37/20 ,  F16F7/01 ,  F16F15/02 ,  F16F15/04 ,  H01J37/16

Abstract: 本发明提供在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下赋予衰减的技术。本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带电粒子束装置中，试样台和衰减部水平配置。另外，试样台形成被夹在衰减部与箱体的第一侧面之间而被支撑的结构，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体(图2)。

公开(公告)号：CN109314029A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201680086707.6

申请日：2016-06-17

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小柳宗和 ,  铃木渡 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备角度与镜体不同的光学摄像装置，其中，在使样本与光学摄像装置相对时，样本有可能与其他部件碰撞。本带电粒子束装置具备：载物台，其承载样本，使样本在样本室内部移动；镜体，其向样本照射带电粒子束而观察样本；第一摄像装置，其从与该镜体不同的角度，观察样本的被照射带电粒子束的面；控制部，其在通过第一摄像装置观察样本时，在使样本从镜体离开后，通过载物台使样本倾斜使得样本与第一摄像装置相对。