公开(公告)号：CN101846825A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010150469.5

申请日：2010-03-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 海老泽圭一 ,  秋叶佑司 ,  比佐隆文 ,  武田正臣 ,  玉本淳一 ,  片保秀明 ,  土井秀明 ,  斋藤佳大

IPC: G02F1/13 ,  G01N21/956

Abstract: 本发明提供可以缩短ACF粘贴处理作业和ACF粘贴状态的检查作业的总作业时间的、或者可以缩短在ACF粘贴中需要的处理作业装置宽度的处理作业装置或ACF粘贴状态检查方法，或者提供可以缩短显示基板模块组装的节拍时间的、或者组装线长度短的显示基板模块组装线。在对粘贴在显示基板的边的预定位置上的ACF进行照明并拍摄，并根据所述拍摄结果检查所述ACF的粘贴状态时，至少在粘贴所述ACF后输送所述显示基板的过程中进行所述拍摄并进行检查。

公开(公告)号：CN102591157A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201110413542.8

申请日：2011-12-13

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 石田进 ,  手塚秀和 ,  土井秀明 ,  斋藤佳大 ,  根本亮二

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种曝光方法及其装置。为了削减在LED光源中使用的LED元件数，小型并且低成本地提供能够在短时间内获得充分的光量的曝光用光源，而使曝光装置构成为具备：曝光用光源单元，其发出曝光光；台单元，其承载曝光用基板，并能够在平面内移动；控制单元，其控制台单元和曝光用光源单元，曝光用光源单元具备2维排列了多个发光元件的光源部，控制单元在通过曝光用光源单元在预定的时间内以预定的曝光总光量对承载在台单元上的曝光用基板进行曝光时，控制光源部，一边依次改变照射条件，一边使得从该光源部发出多个脉冲光，对曝光用基板进行照射。