公开(公告)号：CN107078011B

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201580052516.3

申请日：2015-10-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 木村嘉伸 ,  津野夏规 ,  扬村寿英 ,  小柏刚 ,  富泽淳一郎

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: 提供一种能够以对试样的较少的带电粒子照射量获得高SN比的带电粒子束装置。带电粒子束装置具备带电粒子检测装置，所述带电粒子检测装置在一个一次电子入射到试样时的放出电子的检测(一个事件)中，检测出模拟脉冲波形信号(110)，将所述模拟脉冲波形信号(110)变换为数字信号(111)，使用与一个电子相当的单位波峰对所述数字信号(111)进行波峰区别(112)，并作为多值计数值而输出。

公开(公告)号：CN107078011A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580052516.3

申请日：2015-10-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 木村嘉伸 ,  津野夏规 ,  扬村寿英 ,  小柏刚 ,  富泽淳一郎

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/06 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24507

Abstract: 提供一种能够以对试样的较少的带电粒子照射量获得高SN比的带电粒子束装置。带电粒子束装置具备带电粒子检测装置，所述带电粒子检测装置在一个一次电子入射到试样时的放出电子的检测(一个事件)中，检测出模拟脉冲波形信号(110)，将所述模拟脉冲波形信号(110)变换为数字信号(111)，使用与一个电子相当的单位波峰对所述数字信号(111)进行波峰区别(112)，并作为多值计数值而输出。