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公开(公告)号：CN104737266B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201380053492.4
申请日：2013-10-09
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/317 , G01N1/28
CPC classification number: H01J37/3178 , G01N1/28 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/3005 , H01J37/3007 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/208 , H01J2237/24564 , H01J2237/2813 , H01J2237/2817 , H01J2237/304 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；使从带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与试样接触的探针；向试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对探针的驱动和从气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，控制部在向试样照射带电粒子束并加工试样之后、使探针与试样接触之前，使气体从气体喷嘴朝向加工位置放出，并照射带电粒子束而在试样的加工部形成导电性膜，并且具备判断形成于加工部的导电性膜与探针的接触的接触探测部。
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公开(公告)号：CN104737266A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380053492.4
申请日：2013-10-09
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/317 , G01N1/28
CPC classification number: H01J37/3178 , G01N1/28 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/3005 , H01J37/3007 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/208 , H01J2237/24564 , H01J2237/2813 , H01J2237/2817 , H01J2237/304 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , H01J2237/31744
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；使从带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与试样接触的探针；向试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对探针的驱动和从气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，控制部在向试样照射带电粒子束并加工试样之后、使探针与试样接触之前，使气体从气体喷嘴朝向加工位置放出，并照射带电粒子束而在试样的加工部形成导电性膜，并且具备判断形成于加工部的导电性膜与探针的接触的接触探测部。
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公开(公告)号：CN110770537A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201780091972.8
申请日：2017-06-13
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01B15/02 , G01N23/2251
Abstract: 一种带电粒子射线装置，具备：存储部，其存储有显示前述带电粒子射线照射于配置在试样上的层时得到的带电粒子信号的强度或强度比与前述层的厚度的关系的关系信息；以及运算部，其使用前述关系信息与前述带电粒子信号的强度或强度比，算出前述层的厚度作为前述试样的厚度。
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公开(公告)号：CN110770537B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201780091972.8
申请日：2017-06-13
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01B15/02 , G01N23/2251
Abstract: 一种带电粒子射线装置，具备：存储部，其存储有显示前述带电粒子射线照射于配置在试样上的层时得到的带电粒子信号的强度或强度比与前述层的厚度的关系的关系信息；以及运算部，其使用前述关系信息与前述带电粒子信号的强度或强度比，算出前述层的厚度作为前述试样的厚度。
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