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公开(公告)号：CN103155089A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180048085.5
申请日：2011-10-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/185 , H01J2237/2006 , H01J2237/204 , H01J2237/208
Abstract: 本发明提供在FIB与SEM之间以遮蔽环境的状态转移试样容易的带电粒子线用试样装置。在通过闸门与FIB（1）或SEM的试样室（4）连通的试样更换器（5）中设置用于装卸与外部空气遮蔽的环境遮蔽试样支架（7）的盖（9）的环境遮蔽单元（10），只通过推试样更换棒（11）卸下盖（9），只将试样支架（7）固定在试样室（4）内。环境遮蔽试样支架（7）在与空气遮蔽的环境中、例如在真空中搭载了试样后，通过盖上盖（9）而遮蔽试样与外部空气，在该状态下只通过推试样更换棒（11）能够在FIB（1）或SEM内进行试样的加工及观察，并且通过在拉出试样更换棒（11）时利用环境遮蔽单元（10）盖上盖（9），保持试样与外部空气的遮蔽状态。
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公开(公告)号：CN103155089B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201180048085.5
申请日：2011-10-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/185 , H01J2237/2006 , H01J2237/204 , H01J2237/208
Abstract: 本发明提供在FIB与SEM之间以遮蔽环境的状态转移试样容易的带电粒子线用试样装置。在通过闸门与FIB（1）或SEM的试样室（4）连通的试样更换器（5）中设置用于装卸与外部空气遮蔽的环境遮蔽试样支架（7）的盖（9）的环境遮蔽单元（10），只通过推试样更换棒（11）卸下盖（9），只将试样支架（7）固定在试样室（4）内。环境遮蔽试样支架（7）在与空气遮蔽的环境中、例如在真空中搭载了试样后，通过盖上盖（9）而遮蔽试样与外部空气，在该状态下只通过推试样更换棒（11）能够在FIB（1）或SEM内进行试样的加工及观察，并且通过在拉出试样更换棒（11）时利用环境遮蔽单元（10）盖上盖（9），保持试样与外部空气的遮蔽状态。
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公开(公告)号：CN301665787S
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201130018518.5
申请日：2011-01-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为：电子显微镜用样品盒固定工具。2.本外观设计产品的用途为：本产品为一种固定工具，在扫描型电子显微镜或电子显微镜应用制品的会聚离子束加工观察装置中，为使样品的交换不暴露在空气中而遮断周围空气，或在样品薄幕加工时样品盒的盒盖打开的时候用于固定样品盒。3.本外观设计产品的要点为：如立体图所示形状最能表现本外观设计产品的设计要点。4.最能表明设计要点的图片：立体图。5.在参考图中，B-样品盒，C-固定用螺丝，D-本外观设计产品，E-固定用螺丝。6.在参考图中，C、E可上下方向移动。
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公开(公告)号：CN301590046S
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201130018488.8
申请日：2011-01-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为：电子显微镜用样品盒。2.本外观设计产品的用途为：在扫描型电子显微镜或电子显微镜应用制品的会聚离子束加工观察装置中，防止样品暴露在空气中而将样品装入的样品盒。3.本外观设计产品的要点为：如立体图、俯视图、主视图及右视图所示形状最能表现本外观设计产品的设计要点。4.最能表明设计要点的图片：立体图。5.在参考图1中，C-样品台，D-盒盖，E-样品盒部。在参考图2中，F-固定工具，G-本外观设计产品。6.在参考图1中，斜线部分为透明。
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