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公开(公告)号：CN102403465A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110274804.7
申请日：2011-09-09
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0018 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种有机电致发光用掩模，在具有条状图案的开孔部的掩模中，谋求掩模强度的提高，而且，能够使掩模伸展后的节距精度高精度化。在具有条状图案的开孔部的有机电致发光用掩中，相对于该开孔部的宽度W，距该开孔部的端部的距离L满足下式：1/2W≤L≤20W，在距开孔部的端部距离L的区域中，该开孔部的截面形状与除此以外的区域的开孔部的截面形状相比，开孔部的截面积减小。
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