-
公开(公告)号:CN101037031A
公开(公告)日:2007-09-19
申请号:CN200710008150.7
申请日:2007-01-26
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明涉及将叠层着支撑薄膜和粘着性薄膜的叠层薄膜中的前端部以使该粘着性薄膜成为基板侧的方式,临时安装在基板中的至少一方的主面的前端部,对基板和叠层薄膜进行加压,进行粘贴的薄膜粘贴方法及其装置。在本发明中,在临时安装部(10),在将从薄膜供给辊(15)放出的叠层薄膜(3)临时安装到基板(2)后,在以基板(2)的前端部为最前排,使基板(2)和叠层薄膜(3)向进行加压并进行粘贴的正式粘贴部(50)侧移动时,通过位于从基板(2)的主面离开的位置的导辊(13),以使叠层薄膜(3)不与基板(2)接触的方式,向基板(2)侧供给叠层薄膜(3),在叠层薄膜(3)成为粘贴到基板(2)上的所希望的长度时,切断叠层薄膜(3),在正式粘贴部(50)中进行被切断的所希望的长度的叠层薄膜(3)的粘贴。根据本发明,即使使用具有柔软性的薄膜,也不会产生以切断薄膜时的薄膜的伸缩为起因的皱摺,不会在基板和所粘贴的薄膜之间产生气泡。
-
公开(公告)号:CN101037031B
公开(公告)日:2010-09-08
申请号:CN200710008150.7
申请日:2007-01-26
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明涉及将叠层着支撑薄膜和粘着性薄膜的叠层薄膜中的前端部以使该粘着性薄膜成为基板侧的方式,临时安装在基板中的至少一方的主面的前端部,对基板和叠层薄膜进行加压,进行粘贴的薄膜粘贴方法及其装置。在本发明中,在临时安装部(10),在将从薄膜供给辊(15)放出的叠层薄膜(3)临时安装到基板(2)后,在以基板(2)的前端部为最前排,使基板(2)和叠层薄膜(3)向进行加压并进行粘贴的正式粘贴部(50)侧移动时,通过位于从基板(2)的主面离开的位置的导辊(13),以使叠层薄膜(3)不与基板(2)接触的方式,向基板(2)侧供给叠层薄膜(3),在叠层薄膜(3)成为粘贴到基板(2)上的所希望的长度时,切断叠层薄膜(3),在正式粘贴部(50)中进行被切断的所希望的长度的叠层薄膜(3)的粘贴。根据本发明,即使使用具有柔软性的薄膜,也不会产生以切断薄膜时的薄膜的伸缩为起因的皱摺,不会在基板和所粘贴的薄膜之间产生气泡。
-