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公开(公告)号：CN102019254A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010261161.8
申请日：2010-08-19
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明涉及涂敷装置及其涂敷位置修正方法，修正门形架、其涂敷头的位置偏差。在基台(1)上分别设有跨越基板载置台(8)的可在X轴方向移动的门形架(3L、3R)，在各门形架上设有可在Y轴方向移动的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)。在基板载置台(8)的门形架(3L、3R)侧分别设有模拟用玻璃基板(10a、10b)，由门形架(3L、3R)的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)在模拟用玻璃基板(10a、10b)上描绘浆料记号，根据这些记号的位置检测出涂敷头(5La～5Lc)间的、涂敷头(5Ra～5Rc)间的XY轴方向的位置偏差。在基板载置台(8)中央部设置基准位置记号(9)，通过检测门形架(3L、3R)朝该基准位置记号(9)的移动距离，检测出这些门形架的X轴方向的位置偏差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1970167A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610136142.6
申请日：2006-10-13
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 在一个框架上备有若干个涂敷头的糊剂涂敷机中，在更换涂敷头部、尤其是更换包含喷出糊剂的喷嘴的喷嘴收纳筒时，需要能简单地修正喷嘴的位置偏离。本发明的涂敷装置中，与若干个喷嘴的糊剂喷出口相向地、将基板载置在台上，一边使收纳在糊剂收纳筒内的糊剂从上述喷出口喷出到上述基板上，一边使上述喷嘴与该基板的相对位置关系变化，在该基板上描绘出所需形状的糊剂图形。在一个框架上沿X方向备有各喷嘴，备有调节各喷嘴间的X轴方向间隔的机构、调节各喷嘴间的Y轴方向相对位置的机构、调节各喷嘴间的Z方向相对位置的机构。
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公开(公告)号：CN101920235B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201010201264.5
申请日：2010-06-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B05B13/02 , B05C5/02 , B05C13/00 , G02F1/1339 , B05D7/00
Abstract: 本发明提供能减少扬起的灰尘、缩短制造时间的涂敷装置和涂敷方法。涂敷功能各不同的门形架和载置着玻璃基板(17)的工件台(6)可在X(T)轴方向移动地设置在基台(1)上。当工件台位于A位置时，用门形架(2a)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第1涂敷动作。当工件台位于B位置时，用门形架(2b)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第2涂敷动作。当工件台位于C位置时，用门形架(2c)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第3涂敷动作。涂敷处理的玻璃基板在基板运入侧a从运入侧运送带(18a)保持着相同高度地被运送到工件台上，处理完毕的玻璃基板在基板运出侧b从工件台保持着相同高度地被运送到运出侧运送带(18b)上。
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公开(公告)号：CN102019254B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201010261161.8
申请日：2010-08-19
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明涉及涂敷装置及其涂敷位置修正方法，修正门形架、其涂敷头的位置偏差。在基台(1)上分别设有跨越基板载置台(8)的可在X轴方向移动的门形架(3L、3R)，在各门形架上设有可在Y轴方向移动的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)。在基板载置台(8)的门形架(3L、3R)侧分别设有模拟用玻璃基板(10a、10b)，由门形架(3L、3R)的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)在模拟用玻璃基板(10a、10b)上描绘浆料记号，根据这些记号的位置检测出涂敷头(5La～5Lc)间的、涂敷头(5Ra～5Rc)间的XY轴方向的位置偏差。在基板载置台(8)中央部设置基准位置记号(9)，通过检测门形架(3L、3R)朝该基准位置记号(9)的移动距离，检测出这些门形架的X轴方向的位置偏差。
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公开(公告)号：CN102671823A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210070006.7
申请日：2012-03-16
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明公开了一种膏剂涂覆头、膏剂涂覆装置以及膏剂涂覆方法。本发明所要解决的技术问题是，能够以高精细的图案向大型玻璃基板高精度地涂覆密封材。本发明中，在膏剂涂覆头中，设置大容量的母膏剂收纳筒(23)和小容量的子膏剂收纳筒(24)，在该母膏剂收纳筒(23)收纳大量的膏剂。在子膏剂收纳筒(24)中，在向玻璃基板描绘膏剂图案时，将被收纳在这里的膏剂从喷嘴(22)排出。若子膏剂收纳筒(24)内的膏剂的收纳量变少，则将分隔阀(30)开放，使母膏剂收纳筒(23)和子膏剂收纳筒(24)经膏剂充填流路(27)连通，将母膏剂收纳筒(23)内的膏剂向子膏剂收纳筒(24)补充。
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公开(公告)号：CN101920235A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010201264.5
申请日：2010-06-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B05B13/02 , B05C5/02 , B05C13/00 , G02F1/1339 , B05D7/00
Abstract: 本发明提供能减少扬起的灰尘、缩短制造时间的涂敷装置和涂敷方法。涂敷功能各不同的门形架和载置着玻璃基板(17)的工件台(6)可在X(T)轴方向移动地设置在基台(1)上。当工件台位于A位置时，用门形架(2a)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第1涂敷动作。当工件台位于B位置时，用门形架(2b)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第2涂敷动作。当工件台位于C位置时，用门形架(2c)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第3涂敷动作。涂敷处理的玻璃基板在基板运入侧a从运入侧运送带(18a)保持着相同高度地被运送到工件台上，处理完毕的玻璃基板在基板运出侧b从工件台保持着相同高度地被运送到运出侧运送带(18b)上。
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