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公开(公告)号:CN100475331C
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN200510121755.8
申请日:2005-12-26
Applicant: 株式会社日立制作所
Abstract: 本发明提供一种即使产品制备法不同,也能改善控制系统稳定性和扰动抑制,容易稳定的反应器的温度控制方法和反应器的温度控制装置,或者即使产品制备法不同,也可进行提高反应器的温度控制系统的敏感度特性,提高控制适应性的设定的温度控制方法和反应器的温度控制装置。具备:反应器温度控制系统(200),其输入对应于所输入的制备法算出的反应器(10)的设定温度值和反应器(10)的温度测量值,计算夹套温度设定值;信号生成部(500),输入夹套出口温度的测量值,以与夹套出口温度的变化方向相反的方式计算校正值;和夹套温度控制系统(400),将夹套温度设定值和校正值相加,输入被校正的夹套温度设定值和夹套入口温度的测量值,计算阀门开度设定值。
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公开(公告)号:CN1864848A
公开(公告)日:2006-11-22
申请号:CN200510121755.8
申请日:2005-12-26
Applicant: 株式会社日立制作所
Abstract: 本发明提供一种即使产品制备法不同,也能改善控制系统稳定性和扰动抑制,容易稳定的反应器的温度控制方法和反应器的温度控制装置,或者即使产品制备法不同,也可进行提高反应器的温度控制系统的敏感度特性,提高控制适应性的设定的温度控制方法和反应器的温度控制装置。具备:反应器温度控制系统(200),其输入对应于所输入的制备法算出的反应器(10)的设定温度值和反应器(10)的温度测量值,计算夹套温度设定值;信号生成部(500),输入夹套出口温度的测量值,以与夹套出口温度的变化方向相反的方式计算校正值;和夹套温度控制系统(400),将夹套温度设定值和校正值相加,输入被校正的夹套温度设定值和夹套入口温度的测量值,计算阀门开度设定值。
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