公开(公告)号：CN101325226A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200810005559.8

申请日：2008-02-15

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 田井光春 ,  木下将嘉

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/0224 ,  H01L27/144

CPC classification number: H01L31/03762 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/14676 ,  H01L27/14692 ,  H01L31/115 ,  Y02E10/548

Abstract: 本发明提供一种在同一绝缘性衬底上使用LTPS平面工艺形成高敏感度的光传感器元件和传感器驱动电路等开关元件，并内置了传感器驱动电路的低成本的区域传感器(光传感器装置)或内置了该光传感器元件的图像显示装置。作为光传感器元件的结构，用与构成电路的开关元件的有源层的多晶硅膜相同的膜制作传感器元件的一个电极，且进行光电变换的受光部为非晶硅或本征层的多晶硅膜。另外，采用在传感器元件的两个电极之间夹着受光部的非晶硅和绝缘层的结构。