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公开(公告)号：CN111843829A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010331404.4
申请日：2020-04-24
Applicant: 株式会社捷太格特
Abstract: 本发明提供估计表面粗度的装置以及估计表面粗度的方法。估计表面粗度的装置具备：测量结果获取部，构成为获取在使能够测量工件的尺寸的定寸装置的接触件与上述工件接触并且上述定寸装置相对于上述工件移动时的测量结果；转换部，构成为将上述测量结果获取部获取的测量结果转换为成为至少一个代用值，该代用值为上述工件的表面粗度的代用特性；模型存储部，构成为存储表示上述至少一个代用值与上述工件的上述表面粗度的实测值之间的关系的模型；以及估计部，构成为基于上述模型和上述至少一个代用值，估计上述工件的上述表面粗度。
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