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发明公开
X射线分光分析装置及元素分析方法审中-实审

公开(公告)号：CN114720497A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210002997.9

申请日：2022-01-04

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 宫内真二 , 足立晋 , 小桧山朝华 , 和泉拓郎 , 大森崇史 , 佐藤贤治

IPC: G01N23/223

Abstract: 分光元件(12)及检测器(14)沿着一个罗兰圆(104)的圆周配设。沿着罗兰圆(104)的分光元件(12)的分光面的长度短于照射至试样支架(108)的激发射线的照射面在罗兰圆(104)的面内的长度。配设有分光元件(12)和试样支架(108)使得通过分光元件(12)的共通的分光范围对特征X射线组进行分光。

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