公开(公告)号：CN119137524A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202280095568.9

申请日：2022-03-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 森山真树 ,  石泽直也 ,  小林辽 ,  田洼牧子 ,  林世莉 ,  田中修平 ,  村上真隆 ,  星野哲朗 ,  岩佐昭生 ,  三村正文 ,  福武直树 ,  野崎洁

IPC: G02B21/36 ,  C12M1/00 ,  G01B9/02 ,  G01N15/14 ,  G01N21/17

Abstract: 摄像装置(10)具有基材(1)、第1光学系统(2)、以及摄像部(3)。对象物(110)配置在基材(1)。第1光学系统(2)向对象物(110)照射第1射出光(L1)。摄像部(3)拍摄第1反射光(L2)与第2反射光(L3)的干涉图像。第1反射光(L2)为第1射出光(L1)在匹配对象物(110)的外表面的第1界面(F1)处反射的光。第2反射光(L3)为第1射出光(L1)在对象物(110)与基材(1)的第2界面(F2)反射处的光。