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公开(公告)号：CN110582224B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201880028112.4
申请日：2018-04-13
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 大村泰弘
IPC: A61B3/10
Abstract: 本发明在减轻对具有被检眼的对象者造成的负担的同时大范围地观察被检眼内。对来自被检眼(12)的眼底的反射光进行处理的光学系统(28A)将负责以光轴为中心的眼底中央部位的视场的第1光学系统(28A1)作为基准，通过切换机构(28B)从第1光学系统(28A1)切换成负责眼底中央部位周围的眼底周边部位的视场的第2光学系统(28A2)。由此，能够从眼底中央部位的观察顺利地转变成眼底中央部位周围的眼底周边部位的观察。
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公开(公告)号：CN101216598A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200710306116.8
申请日：2004-05-06
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 大村泰弘
CPC classification number: G02B17/0812 , G02B13/22 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275
Abstract: 本发明提供一种使色象差和像面弯曲等诸象差被良好地修正，并具有优良的成像性能，且可良好地抑制光学面上的反射损失并确保大的有效的像侧数值孔径的比较小型的投影光学系统，且为将第1面(R)的缩小像形成在第2面(W)上的反射折射型的投影光学系统。该投影光学系统包括至少2片反射镜(CM1、CM2)、第1侧的面具有正的折射力的边界透镜(Lb)，且边界透镜和第2面间的光路由具有较1.1大的折射率的媒质(Lm)进行填充。构成投影光学系统的所有透射构件及具有折射力的所有反射构件都沿单一的光轴(AX)进行配置，并具有不包含光轴的设定形状的有效成像区域。
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公开(公告)号：CN1668984A
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：CN03817253.4
申请日：2003-08-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G02B17/0892 , G02B13/22 , G02B17/08 , G02B21/33 , G03F7/70225 , G03F7/70341
Abstract: 一种在宽广视野上以高分辨率投影成像(image)的微影浸没投影系统(lithographic immersion projection system)与方法。上述投影系统与方法包括一个在光进入浸没液体并撞击成像平面之前减少光径的边缘光线角度的最终透镜。
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公开(公告)号：CN110573059B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201880028190.4
申请日：2018-04-13
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 大村泰弘
Abstract: 本发明能够减轻针对具有被检眼的对象者的负担并以宽范围内对被检眼内进行观察。从被检眼(12)的光瞳(Pp)侧起，按照光射入的顺序，在通过第1折射面抑制了光束扩散后，光束由具有中心开口的第1反射面(Mr01)反射，朝向被检眼(12)的方向且朝向收敛方向，由第2反射面(Mr02)向与朝向被检眼(12)的方向相反的方向反射，从第1反射面的中心开口中透射，形成与被检眼(12)的光瞳(Pp)位置成为像共轭的光瞳共轭(Pcj)的像。通过第1折射面，能够确保充分的动作距离并实现第1反射面(Mr01)的小型化，通过从第2反射面(Mr02)及第1反射面(Mr01)的开口部中透射能够实现光束分离，因此能够通过使第1反射面(Mr01)为凹面形状及使第2反射面(Mr02)为凸面形状而实现光学系统的小型化。
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公开(公告)号：CN110573059A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201880028190.4
申请日：2018-04-13
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 大村泰弘
Abstract: 本发明能够减轻针对具有被检眼的对象者的负担并以宽范围内对被检眼内进行观察。从被检眼(12)的光瞳(Pp)侧起，按照光射入的顺序，在通过第1折射面抑制了光束扩散后，光束由具有中心开口的第1反射面(Mr01)反射，朝向被检眼(12)的方向且朝向收敛方向，由第2反射面(Mr02)向与朝向被检眼(12)的方向相反的方向反射，从第1反射面的中心开口中透射，形成与被检眼(12)的光瞳(Pp)位置成为像共轭的光瞳共轭(Pcj)的像。通过第1折射面，能够确保充分的动作距离并实现第1反射面(Mr01)的小型化，通过从第2反射面(Mr02)及第1反射面(Mr01)的开口部中透射能够实现光束分离，因此能够通过使第1反射面(Mr01)为凹面形状及使第2反射面(Mr02)为凸面形状而实现光学系统的小型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100462844C
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN03817253.4
申请日：2003-08-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G02B17/0892 , G02B13/22 , G02B17/08 , G02B21/33 , G03F7/70225 , G03F7/70341
Abstract: 一种在宽广视野上以高分辨率投影成像(image)的微影浸没投影系统(lithographic immersion projection system)与方法。上述投影系统与方法包括一个在光进入浸没液体并撞击成像平面之前减少光径的边缘光线角度的最终透镜。
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公开(公告)号：CN110582224A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201880028112.4
申请日：2018-04-13
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 大村泰弘
IPC: A61B3/10
Abstract: 本发明在减轻对具有被检眼的对象者造成的负担的同时大范围地观察被检眼内。对来自被检眼(12)的眼底的反射光进行处理的光学系统(28A)将负责以光轴为中心的眼底中央部位的视场的第1光学系统(28A1)作为基准，通过切换机构(28B)从第1光学系统(28A1)切换成负责眼底中央部位周围的眼底周边部位的视场的第2光学系统(28A2)。由此，能够从眼底中央部位的观察顺利地转变成眼底中央部位周围的眼底周边部位的观察。
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公开(公告)号：CN100539020C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200680015711.X
申请日：2006-05-08
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 大村泰弘
IPC: H01L21/027 , G02B17/08 , G02B13/18 , G03F7/20 , G02B13/24
CPC classification number: G03F7/70825 , G02B1/02 , G02B1/06 , G02B17/0892 , G02B21/33 , G03F7/70341
Abstract: 本发明提供一种可以防止液体(浸液)向光学系统的内部侵入而维持良好的成像性能的液浸型的投影光学系统。本发明的投影光学系统是将第一面的缩小像经由液体向第二面投影的投影光学系统，投影光学系统具备第一面侧与气体接触且第二面侧与液体接触的边界光学元件(Lb)，边界光学元件的入射面(Lba)朝向第一面具有凸面形状，且以包围边界光学元件的射出面(Lbc)的有效区域的方式形成有槽部(Gr)。
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公开(公告)号：CN101002127A
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN200580026369.9
申请日：2005-07-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G02B13/24 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 一种使第一面(R)的缩小像投影于第二面(W)的投影光学系统。投影光学系统的光程中的气体的折射率为1时，投影光学系统与第二面之间的光程以具有比1.5大的折射率的液体(Lm)充满。投影光学系统包括第一面侧与气体接触并且第二面侧与液体接触的境界透镜(Lb)，境界透镜具有正折射能力，由具有比1.8大的折射率的光学材料形成。本发明的投影光学系统，使液体介于与像面之间的光程中，例如可一面确保比1.4大的实效性像侧数值孔径，一面能确保较大的有效结像区域。
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公开(公告)号：CN101002127B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200580026369.9
申请日：2005-07-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G02B13/24 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 一种使第一面(R)的缩小像投影于第二面(W)的投影光学系统。投影光学系统的光路中的气体的折射率为1时，投影光学系统与第二面之间的光路以具有比1.5大的折射率的液体(Lm)充满。投影光学系统包括第一面侧与气体接触并且第二面侧与液体接触的境界透镜(Lb)，境界透镜具有正折射能力，由具有比1.8大的折射率的光学材料形成。本发明的投影光学系统，使液体介于与像面之间的光路中，例如可一面确保比1.4大的实效性像侧数值孔径，一面能确保较大的有效结像区域。
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