公开(公告)号：CN102959451B

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201180031600.9

申请日：2011-08-18

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 向井香织 ,  吉田三环子

IPC: G02B21/02 ,  G02B21/06

CPC classification number: G02B21/02 ,  G02B27/4205 ,  G02B27/4211

Abstract: 提供一种使得衍射光学元件的无用级数的光所产生的耀斑少的显微镜光学系统。显微镜光学系统(MS)具有：物镜(OL)，该物镜具有衍射光学元件(GD)并将来自物体的光会聚而成为大致平行光束；和第二物镜(IL)，将来自该物镜(OL)的大致平行光束会聚而形成物体的像，在将衍射光学元件(GD)的m级光用于成像的情况下，当从位于光轴上的物体射出的最大NA的光入射至衍射光学元件并从该衍射光学元件射出的m±1级光入射至第二物镜(IL)中的角度为θ，向该第二物镜(IL)的入射光瞳的直径作为D〔mm〕时，满足下式的条件：〔数式12〕|θ|＞tan-1(0.06/D)。

公开(公告)号：CN102959451A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201180031600.9

申请日：2011-08-18

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 向井香织 ,  吉田三环子

IPC: G02B21/02 ,  G02B21/06

CPC classification number: G02B21/02 ,  G02B27/4205 ,  G02B27/4211

Abstract: 提供一种使得衍射光学元件的无用级数的光所产生的耀斑少的显微镜光学系统。显微镜光学系统(MS)具有：物镜(OL)，该物镜具有衍射光学元件(GD)并将来自物体的光会聚而成为大致平行光束；和第二物镜(IL)，将来自该物镜(OL)的大致平行光束会聚而形成物体的像，在将衍射光学元件(GD)的m级光用于成像的情况下，当从位于光轴上的物体射出的最大NA的光入射至衍射光学元件并从该衍射光学元件射出的m±1级光入射至第二物镜(IL)中的角度为θ，向该第二物镜(IL)的入射光瞳的直径作为D〔mm〕时，满足下式的条件：〔数式12〕|θ|＞tan-1(0.06/D)。