物镜
    2.
    发明授权
    物镜 有权

    公开(公告)号:CN101802676B

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN200880107988.4

    申请日:2008-09-18

    Inventor: 吉田三环子

    CPC classification number: G02B21/02 G02B9/64 G02B27/0056 G02B27/42 G02B27/4211

    Abstract: 一种物镜(OL),按照从物体侧的次序包括具有正折射光焦度的第一透镜组(G1)、具有正折射光焦度的第二透镜组(G2)、在其上形成衍射光学表面(D)的衍射光学元件(GD)和具有负折射光焦度的第三透镜组(G3)。该第一透镜组(G1)包括至少一个胶合透镜并且其最物体侧的表面形成面向物体的凹形表面。该第二透镜组(G2)包括至少一个胶合透镜。该第三透镜组(G3)包括至少一个胶合负透镜。在该物镜(OL)中,主光线在第二透镜组(G2)和第三透镜组(G3)之间与光轴相交,并且在衍射光学元件(GD)中,衍射光学表面(D)被置于主光线与光轴相交的位置的附近。

    物镜
    3.
    发明公开
    物镜 有权

    公开(公告)号:CN101802676A

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN200880107988.4

    申请日:2008-09-18

    Inventor: 吉田三环子

    CPC classification number: G02B21/02 G02B9/64 G02B27/0056 G02B27/42 G02B27/4211

    Abstract: 一种物镜(OL),按照从物体侧的次序包括具有正折射光焦度的第一透镜组(G1)、具有正折射光焦度的第二透镜组(G2)、在其上形成衍射光学表面(D)的衍射光学元件(GD)和具有负折射光焦度的第三透镜组(G3)。该第一透镜组(G1)包括至少一个胶合透镜并且其物体侧的表面形成面向物体的凹形表面。该第二透镜组(G2)包括至少一个胶合透镜。该第三透镜组(G3)包括至少一个胶合负透镜。在该物镜(OL)中,主光线在第二透镜组(G2)和第三透镜组(G3)之间与光轴相交,并且在衍射光学元件(GD)中,衍射光学表面(D)被置于主光线与光轴相交的位置的附近。

    显微镜光学系统以及显微镜系统

    公开(公告)号:CN102959451B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201180031600.9

    申请日:2011-08-18

    CPC classification number: G02B21/02 G02B27/4205 G02B27/4211

    Abstract: 提供一种使得衍射光学元件的无用级数的光所产生的耀斑少的显微镜光学系统。显微镜光学系统(MS)具有:物镜(OL),该物镜具有衍射光学元件(GD)并将来自物体的光会聚而成为大致平行光束;和第二物镜(IL),将来自该物镜(OL)的大致平行光束会聚而形成物体的像,在将衍射光学元件(GD)的m级光用于成像的情况下,当从位于光轴上的物体射出的最大NA的光入射至衍射光学元件并从该衍射光学元件射出的m±1级光入射至第二物镜(IL)中的角度为θ,向该第二物镜(IL)的入射光瞳的直径作为D〔mm〕时,满足下式的条件:〔数式12〕|θ|>tan-1(0.06/D)。

    显微镜光学系统以及显微镜系统

    公开(公告)号:CN102959451A

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN201180031600.9

    申请日:2011-08-18

    CPC classification number: G02B21/02 G02B27/4205 G02B27/4211

    Abstract: 提供一种使得衍射光学元件的无用级数的光所产生的耀斑少的显微镜光学系统。显微镜光学系统(MS)具有:物镜(OL),该物镜具有衍射光学元件(GD)并将来自物体的光会聚而成为大致平行光束;和第二物镜(IL),将来自该物镜(OL)的大致平行光束会聚而形成物体的像,在将衍射光学元件(GD)的m级光用于成像的情况下,当从位于光轴上的物体射出的最大NA的光入射至衍射光学元件并从该衍射光学元件射出的m±1级光入射至第二物镜(IL)中的角度为θ,向该第二物镜(IL)的入射光瞳的直径作为D〔mm〕时,满足下式的条件:〔数式12〕|θ|>tan-1(0.06/D)。

    物镜
    8.
    发明授权
    物镜 有权

    公开(公告)号:CN101965533B

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN200980106293.9

    申请日:2009-02-24

    CPC classification number: G02B21/02 G02B27/0037 G02B27/4211

    Abstract: 本发明涉及一种物镜(OL),包括:整体上具有正折射光焦度并且具有正透镜(平凸透镜(L1))和至少一个胶合透镜(胶合透镜(CL12)等)的、置于物体侧上的第一透镜组(G1),该正透镜最靠近物体置放并且其最靠近物体的透镜表面是平面或者具有低曲率的表面;整体上具有负折射光焦度并且具有彼此面对的、面对图像的凹形表面和面对物体的凹形表面的、置于图像侧上的第二透镜组(G2);和衍射光学元件(GD),其中胶合由不同的光学材料制成的两个衍射元件构件,具有在胶合表面上形成有衍射光栅凹槽的衍射光学表面(D),并且比主光线穿过光轴的位置更加靠近物体置放。

    物镜
    9.
    发明公开
    物镜 有权

    公开(公告)号:CN101965533A

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN200980106293.9

    申请日:2009-02-24

    CPC classification number: G02B21/02 G02B27/0037 G02B27/4211

    Abstract: 本发明涉及一种物镜(OL),包括:整体上具有正折射光焦度并且具有正透镜(平凸透镜(L1))和至少一个胶合透镜(胶合透镜(CL12)等)的、置于物体侧上的第一透镜组(G1),该正透镜最靠近物体置放并且其最靠近物体的透镜表面是平面或者具有低曲率的表面;整体上具有负折射光焦度并且具有彼此面对的、面对图像的凹形表面和面对物体的凹形表面的、置于图像侧上的第二透镜组(G2);和衍射光学元件(GD),其中胶合由不同的光学材料制成的两个衍射元件构件,具有在胶合表面上形成有衍射光栅凹槽的衍射光学表面(D),并且比主光线穿过光轴的位置更加靠近物体置放。

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