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公开(公告)号：CN119585677A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202280098378.2
申请日：2022-08-18
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
Abstract: 照明单元具备：第一光源阵列(20A)，排列有多个第一光源元件，所述第一光源元件具有第一发光部，所述第一发光部出射具有第一波长特性的光；第一放大光学系统(30A)，形成所述第一光源元件各者的所述第一发光部的放大像；第一光学系统(81A)，由来自所述第一放大光学系统的光入射；第二光源阵列(20B)，排列有多个第二光源元件，所述第二光源元件具有第二发光部，所述第二发光部出射具有与所述第一波长特性不同的第二波长特性的光；第二放大光学系统(30B)，形成所述第二光源元件各者的所述第二发光部的放大像；第二光学系统(81B)，由来自所述第二放大光学系统的光入射；及合成光学元件(DM2)，将来自所述第一光学系统的光、与来自所述第二光学系统的光进行合成，所述合成光学元件配置于作为所述第一光学系统的后侧焦点位置或其附近、且作为所述第二光学系统的后侧焦点位置或其附近的位置。
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