流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法

    公开(公告)号:CN110462269B

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN201880021913.8

    申请日:2018-06-21

    Abstract: 提供一种在连续运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。流体通过分别配置于分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)中的某一个控制阀而被进行流量控制。在基于来自控制阀(5)的监视部(5a)的信号判断成需要更换控制阀(5)时,关闭正在进行流量控制的控制阀(5),同时打开设置于其他分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)并进行与更换前同等的流量控制。而且,配置在关闭的控制阀(5)的上游侧及下游侧的开闭阀(12、13)也关闭。

    流体控制器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106471300B

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201580033388.8

    申请日:2015-12-14

    Abstract: 本发明提供一种流体控制器,其能够防止因螺纹部松动引起的精度降低以及因扭转应力引起的耐久性降低。阀杆上下移动量调整单元(11)具备:在内周设置有内螺纹(41b)并以可旋转的方式支承于壳体(4)的手柄(41)、在外周设置有外螺纹(46b)并与手柄(41)的内周螺合的移动体(42)、防止移动体(42)相对于壳体(4)旋转且可以向上下方向移动的导向单元(43)。

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