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公开(公告)号：CN117798899A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311226162.2
申请日：2023-09-21
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/16 , H01L21/677 , H01L21/67 , B25J9/04
Abstract: 提供搬运系统以及搬运方法。即使在基板的挠曲较大的情况下，也防止由接触引起的基板的破损。实施方式的搬运系统具有：机器人，其相对于多层地收纳基板的盒进行上述基板的搬入搬出；以及控制器，其对上述机器人的动作进行控制。上述机器人具有：手，其搬运上述基板；水平移动机构，其使上述手在上述盒的正面的宽度方向上移动；以及升降机构，其使上述手升降。上述手在与上述盒对置的末端侧具有检测对象物的反射型传感器。上述控制器以使与收纳于上述盒的上述基板对置的上述反射型传感器在该基板的宽度方向上进行扫描的方式使上述水平移动机构动作，由此使上述反射型传感器进行水平扫描。
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