公开(公告)号：CN102827323A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201210195831.X

申请日：2012-06-14

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 寺西直史 ,  中川泰伸 ,  赤井泰之

IPC: C08F220/32 ,  C08F220/06 ,  C08F220/18 ,  C08F2/06 ,  G03F7/004 ,  C09D133/14 ,  C09J133/14

Abstract: 本发明提供一种固化性树脂组合物，其在提高制备抗蚀剂组合物时的溶解性以及稳定性的同时，使得抗蚀剂成膜时的膜厚均匀性、线宽均匀性、显影时的抗蚀剂膜的密合性等特性得到提高，且使其安全性得以提高。所述固化性树脂组合物包含共聚物和溶剂，所述共聚物含有：(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物所对应的单体单元、以及(B)含有碱可溶性基团的单体单元，所述溶剂含有占全部溶剂中的30~100质量%的二丙二醇二甲醚。

公开(公告)号：CN110857327A

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201910777517.4

申请日：2019-08-22

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 寺西直史

IPC: C08F265/06 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明的课题在于提供一种用于得到共聚组成均一且分子量分布窄的聚合物的聚合物的制造方法。本发明的聚合物的制造方法包括：使用具备可将多种液体混合的流路的微型反应器，在聚合引发剂的存在下使含有两种以上单体的单体成分进行自由基聚合，其中，上述微型反应器具备导入单体成分的第1导入口、和位于上述第1导入口的下游的其它导入口，将单体成分导入上述第1导入口和上述其它导入口。