公开(公告)号：CN104183520A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410036927.0

申请日：2014-01-26

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 家城孝之 ,  长野忠幸

IPC: H01L21/67

CPC classification number: B67D7/0266 ,  B67D7/22 ,  B67D7/32

Abstract: 本发明提供一种材料供给装置，在更换填充容器时，能安全地更换填充容器而不会给使用者带来巨大负担。所述材料供给装置（1）包括：外容器（3），以将内容器（2）与外部空气隔离的方式收纳内容器（2），该内容器（2）收容材料并且具有用于导出所述材料的导出口（20）；连接接头，用于将供给配管（6b）与导出口（20）连接，供给配管（6b）将材料供给到位于外容器（3）的外侧的规定的装置中；以及接头操作机构（5），能从外容器（3）的外侧在维持与外部空气隔离的状态下操作配置在外容器（3）内的连接接头。

公开(公告)号：CN102365388A

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201080013703.8

申请日：2010-04-19

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 家城孝之 ,  林达也

IPC: C23C16/448 ,  B01J7/02 ,  H01L21/31

CPC classification number: B01B1/02 ,  B01D1/14 ,  B01D1/30

Abstract: 本发明提供一种液体原料气化装置，能够防止气泡的再结合从而抑制气泡变大，并且能够使储存的液体原料的温度分布均匀。液体原料气化装置包括：液体原料容器(2)；第一加热器(3)，设在液体原料容器(2)的侧壁上，用于把储存的液体原料加热到规定的温度；第二加热器(4)，设在液体原料容器(2)内部的中央部，用于把储存的液体原料加热到规定的温度；多个气泡发生器(5)，浸渍在储存的液体原料中，并设在第二加热器(4)和侧壁之间，向液体原料中喷出载气进行鼓泡；以及供气管(6)，向气泡发生器(5)提供载气。

公开(公告)号：CN104183520B

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201410036927.0

申请日：2014-01-26

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 家城孝之 ,  长野忠幸

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种材料供给装置，在更换填充容器时，能安全地更换填充容器而不会给使用者带来巨大负担。所述材料供给装置（1）包括：外容器（3），以将内容器（2）与外部空气隔离的方式收纳内容器（2），该内容器（2）收容材料并且具有用于导出所述材料的导出口（20）；连接接头，用于将供给配管（6b）与导出口（20）连接，供给配管（6b）将材料供给到位于外容器（3）的外侧的规定的装置中；以及接头操作机构（5），能从外容器（3）的外侧在维持与外部空气隔离的状态下操作配置在外容器（3）内的连接接头。