公开(公告)号：CN103101283B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201210448014.0

申请日：2012-11-09

Applicant: 株式会社名机制作所

Inventor： 广濑智章 ,  石川孝司

IPC: B32B37/10 ,  B32B38/10

CPC classification number: B32B37/1009 ,  B32B2457/14 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  Y10T156/108 ,  Y10T156/12

Abstract: 本发明提供真空层叠系统及真空层叠方法，其在对层叠薄膜与被层叠品进行层叠，并从层叠有层叠薄膜的层叠品切断层叠薄膜的剩余部时，能进行高精度的层叠成形，并且，包括用于切断层叠薄膜的剩余部的切断的运送装置的切断工序能够简单化。一种真空层叠成形系统（11），其利用分批式真空层叠装置（12）层叠分别在层叠薄膜（NCF）与下侧的载体薄膜（C1）上被搬运的被层叠品（W），并从层叠有层叠薄膜的层叠品（W1）切断层叠薄膜（NCF），在将层叠有层叠薄膜的层叠品（W1）载置在下侧载体薄膜（C1）上的状态下，从该层叠有层叠薄膜的层叠品（W1）切断层叠薄膜的剩余部（NCFa）。

公开(公告)号：CN103101283A

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201210448014.0

申请日：2012-11-09

Applicant: 株式会社名机制作所

Inventor： 广濑智章 ,  石川孝司

IPC: B32B37/10 ,  B32B38/10

CPC classification number: B32B37/1009 ,  B32B2457/14 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  Y10T156/108 ,  Y10T156/12

Abstract: 本发明提供真空层叠系统及真空层叠方法，其在对层叠薄膜与被层叠品进行层叠，并从层叠有层叠薄膜的层叠品切断层叠薄膜的剩余部时，能进行高精度的层叠成形，并且，包括用于切断层叠薄膜的剩余部的切断的运送装置的切断工序能够简单化。一种真空层叠成形系统（11），其利用分批式真空层叠装置（12）层叠分别在层叠薄膜（NCF）与下侧的载体薄膜（C1）上被搬运的被层叠品（W），并从层叠有层叠薄膜的层叠品（W1）切断层叠薄膜（NCF），在将层叠有层叠薄膜的层叠品（W1）载置在下侧载体薄膜（C1）上的状态下，从该层叠有层叠薄膜的层叠品（W1）切断层叠薄膜的剩余部（NCFa）。