氟气的制造方法和氟气制造装置

    公开(公告)号:CN113874554B

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202080038845.3

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 提供一种氟气的制造方法,其能够抑制由雾导致的配管、阀的堵塞。采用具备在电解槽内进行电解液的电解的电解工序、测定电解中生成氟气的电流效率的电流效率测定工序、以及将电解液的电解时在电解槽的内部产生的流体从电解槽的内部经由流路向外部输送的送气工序的方法制造氟气。在送气工序中,根据在电流效率测定工序中测定的电流效率来切换流体流动的流路,在电流效率测定工序中测定的电流效率为预先设定的基准值以上的情况下,将流体输送到从电解槽的内部向第1外部输送流体的第1流路,在电流效率小于预先设定的基准值的情况下,将流体输送到从电解槽的内部向第2外部输送流体的

Patent Agency Ranking