氟气的制造方法及氟气制造装置

    公开(公告)号:CN113874553B

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202080038149.2

    申请日:2020-12-03

    Abstract: 内的数值。提供能够对由雾导致的配管、阀的堵塞进行抑制的氟气的制造方法。通过包括在电解槽内进行电解液的电解的电解工序、在电解时对电解液中的水分浓度进行测定的水分浓度测定工序、以及从电解槽的内部经由流路向外部输送在电解液的电解时在电解槽的内部所产生的流体的送气工序的方法来制造氟气。在送气工序中,根据在水分浓度测定工序中测定出的电解液中的水分浓度来对流通流体的流路进行切换,在水分浓度测定工序中测定出的电解液中的水分浓度为预先设定的基准值以下的情况下,向第1流路输送流体,在比预先设定的基准值大的情况下,向第2流路输送流体,第1流路是从电解槽的内部向第1外部输送流体的流路,第2流路是从电解槽的(56)对比文件JP H02263988 A,1990.10.26JP 2004353015 A,2004.12.16JP 2009242944 A,2009.10.22

    氟气的制造方法及氟气制造装置

    公开(公告)号:CN113874555B

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202080039009.7

    申请日:2020-12-17

    Abstract: 范围内的数值。提供能够抑制由雾导致的配管、阀的堵塞的氟气的制造方法。通过包括电解工序、水分浓度测定工序以及送气工序的方法制造氟气,电解工序在电解槽内进行电解液的电解,水分浓度测定工序对电解时在阴极室所产生的流体中的水分浓度进行测定,送气工序从电解槽的内部经由流路向外部输送电解液的电解时在电解槽的内部产生的流体。在送气工序中,根据在水分浓度测定工序中测定的水分浓度,对流通流体的流路进行切换,在水分浓度测定工序中测定的水分浓度为预先设定的基准值以下的情况下,向第1流路输送流体,在比预先设定的基准值大的情况下,向第2流路输送流体,第1流路是从电解槽的内部向第1外部输送流体的流路,第2流路是从电解槽

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