公开(公告)号：CN103846782A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310651957.8

申请日：2013-12-05

Applicant: 株式会社仓元制作所

Inventor： 铃木聪 ,  佐藤政博 ,  西木博文 ,  高桥克俊 ,  相泽昭则 ,  三浦直人

IPC: B24B37/10

CPC classification number: B24B37/10 ,  G02F1/1333

Abstract: 提供可减少大型液晶面板缺损或破损的发生，进而大幅抑制与凹坑的产生相伴的显示不良的液晶面板研磨方法。液晶面板研磨方法的特征在于，具有对在形成有薄膜晶体管层的第一玻璃基板与形成有滤色器层的第二玻璃基板之间夹持液晶构件而成的液晶面板的表面实施化学研磨的化学研磨工序，其中，具有：上述化学研磨工序前进行上述液晶面板的上述第一及第二玻璃基板的倒角的倒角工序；以上述化学研磨工序后的上述第一玻璃基板表面存在的凹坑的平均直径为200μm以下的方式进行上述第一玻璃基板的机械研磨的第一玻璃基板机械研磨工序；除去上述液晶面板表面的残渣的第一残渣处理工序；及上述化学研磨工序后除去化学研磨工序中产生的反应产物的反应产物除去工序。