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公开(公告)号：CN108476583A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680072892.3
申请日：2016-09-07
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H05H1/46 , H01L21/3065 , H03H7/30
摘要： 在通过高频电源装置的扫频来进行阻抗匹配的频率控制中，确定反射系数或反射电力朝向极小的频率扫掠方向，由此缩短检测出反射系数或反射电力成为极小的频率为止所需的时间。通过以下两阶段的控制来进行高频电源装置的阻抗匹配的频率控制：(A)相位控制，基于振荡频率的相位状态来确定反射系数或反射电力朝向极小的频率扫掠方向，并以确定的扫掠方向来开始频率增减；(B)反射电力控制，以反射系数或反射量作为完成频率控制的控制的控制完毕条件。
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公开(公告)号：CN110178299B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN201780081276.9
申请日：2017-02-23
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02M3/155
摘要： 使电源装置的多相交织控制高速化。而且，在电源装置的多相交织控制的高速化中，谋求反馈信号的检测的高速化。在电源装置及电源装置的控制方法中，通过使用预定时间点的输出电压的初期值和在离散时间处理的各时间点的电容电流的检测值进行离散时间处理而得到运算结果，取得输出电压。由此，响应速度慢的输出电压的取得仅为初期值的检测，离散时间处理的检测可利用能够高速响应的电容电流的检测完成，因此能够高速响应。
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公开(公告)号：CN106797141A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480081515.7
申请日：2014-11-19
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H02M3/33569 , H01J37/32183 , H01P1/38 , H01P5/18 , H02J50/20 , H02M7/48 , H03F1/56 , H03F3/193 , H03F3/2171 , H03F3/601 , H03F2200/387 , H03F2200/451 , H03F2200/541
摘要： 抑制由于传送路径上的阻抗不匹配而产生的负载电压的过剩电压上升，以及再生高频电力。通过采用在电压上升时在传送路径上连接并联阻抗的结构来再生驻波的电压，降低负载电压的过剩电压，并且提高能量的利用效率。通过在高频电源的高频放大电路和高频负载之间的传送路径上对于负载阻抗构成并联阻抗，降低连接位置的阻抗来抑制在传送路径上产生过剩电压，并通过并联阻抗从传送路径上再生高频电力。
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公开(公告)号：CN105144577A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201380075886.X
申请日：2013-12-26
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H03F3/217
CPC分类号： H03F1/086 , H01J37/32174 , H03F1/308 , H03F1/523 , H03F3/193 , H03F3/211 , H03F3/217 , H03F3/2171 , H03F3/2173 , H03F3/3061 , H03F2200/33 , H03F2200/351 , H03F2200/451 , H03F2200/459 , H03F2203/21106 , H03F2203/21112 , H05H1/36
摘要： 在D类放大器中，抑制高频RF区域中的振荡现象，降低冲击电压。通过在D类放大电路的电源侧连接振荡吸收电路，由D类放大电路和连接的振荡吸收电路等价地构成振荡电路，并将振荡吸收电路所具备的电阻作为振荡电路的衰减电阻，来进行振荡现象的抑制和冲击电压的降低。振荡吸收电路由电阻和电感的RL并联电路构成。振荡吸收电路和D类放大电路构成振荡电路，振荡吸收电路的电阻在高频RF区域中构成振荡电路的衰减电阻。
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公开(公告)号：CN110168888B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN201780081247.2
申请日：2017-02-23
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02M3/155
摘要： 使电源装置的多相交织控制高速化。并且，在电源装置的多相交织控制的高速化中，谋求反馈信号的检测的高速化以及在高频范围控制系统的稳定化。不需要低速响应的检测器检测的反馈信号，使用可高速响应的检测交流信号的检测器得到的检测信号，由此使电源装置的多相交织控制高速化，并且通过满足包含LC电路的控制系统的传递函数中使增益为1以下的条件、以及开关时间的无用时间导致的相位偏差不影响采样周期的条件，来谋求控制系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN110168885A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201780081281.X
申请日：2017-02-23
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02M3/135
摘要： 在电源装置的多相交织控制中，成为抑制输出电压的过冲及下冲的发生，检测部的个数及控制不取决于相数的控制。在将无差拍控制应用于多相交织的电源装置的电力控制中，在基于多相交织的多相控制中，通过将多相的相电流的合成电流设为控制电流来实现检测部的个数及控制不取决于相数的控制，并通过使用该控制电流来进行恒流控制，抑制过冲及下冲的发生。电源装置是通过多个相电流来进行多相控制的多相交织控制的电源装置，具备构成通过多相交织的多相控制而进行动作的降压斩波电路的LC斩波电路、通过LC斩波电路的多相控制来控制阶跃响应的控制部。
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公开(公告)号：CN106797141B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201480081515.7
申请日：2014-11-19
申请人： 株式会社京三制作所
摘要： 抑制由于传送路径上的阻抗不匹配而产生的负载电压的过剩电压上升，以及再生高频电力。通过采用在电压上升时在传送路径上连接并联阻抗的结构来再生驻波的电压，降低负载电压的过剩电压，并且提高能量的利用效率。通过在高频电源的高频放大电路和高频负载之间的传送路径上对于负载阻抗构成并联阻抗，降低连接位置的阻抗来抑制在传送路径上产生过剩电压，并通过并联阻抗从传送路径上再生高频电力。
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公开(公告)号：CN105637723A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480056402.1
申请日：2014-03-12
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H01T15/00
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32146 , H01J37/32155 , H01J37/32174 , H01J37/32183 , H01J37/32926 , H05H2001/4645
摘要： 高频电源装置具备供给使等离子体点火的脉冲电力的等离子体点火工序；供给用于维持所产生的等离子体的驱动电力的驱动电力供给工序。在等离子体点火工序中，由促使点火的主脉冲和在主脉冲之前的阶段施加的比主脉冲低的电力的预脉冲构成通过点火脉冲输出动作施加的点火脉冲，保护高频电源不受反射波电力的影响并且进行等离子体的切实的点火。
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公开(公告)号：CN110268613B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201780085653.6
申请日：2017-02-23
申请人： 株式会社京三制作所
摘要： 通过由开关元件的高频动作产生的高频信号，抑制流入至高侧绝缘电源的绝缘变压器的寄生电容的漏电流。着眼于通过由高侧开关元件的接通/断开动作产生的高频信号而流入至高侧绝缘电源的绝缘变压器的寄生电容的漏电流是共模电流，通过共模电抗器降低该共模电流。共模电抗器通过共模电抗器降低共模电流，且使共模电抗器负担高频信号，由此防止高侧绝缘电源的绝缘变压器被施加高频信号，抑制流入绝缘变压器的寄生电容的漏电流，而且，降低由流入绝缘变压器的寄生电容的漏电流产生的高侧的开关元件的误动作。
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公开(公告)号：CN110168885B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201780081281.X
申请日：2017-02-23
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02M3/135
摘要： 在电源装置的多相交织控制中，成为抑制输出电压的过冲及下冲的发生，检测部的个数及控制不取决于相数的控制。在将无差拍控制应用于多相交织的电源装置的电力控制中，在基于多相交织的多相控制中，通过将多相的相电流的合成电流设为控制电流来实现检测部的个数及控制不取决于相数的控制，并通过使用该控制电流来进行恒流控制，抑制过冲及下冲的发生。电源装置是通过多个相电流来进行多相控制的多相交织控制的电源装置，具备构成通过多相交织的多相控制而进行动作的降压斩波电路的LC斩波电路、通过LC斩波电路的多相控制来控制阶跃响应的控制部。
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